手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
一、臺階樣板
該類樣板主要用來校準臺階儀、光學輪廓儀、原子力顯微鏡等各種臺階高度測量儀器。
臺階高度范圍：10nm～100μm；
臺階區域表面粗糙度Sa：優于5.0nm；
臺階區域均勻性：優于15nm；
臺階樣片尺寸：10mm×10mm。
序號 | 臺階標稱高度 |
1 | 10nm |
2 | 20nm |
3 | 30nm |
4 | 50nm |
5 | 100nm |
6 | 200nm |
7 | 500nm |
8 | 1000nm |
9 | 2μm |
10 | 5μm |
11 | 10μm |
12 | 20μm |
13 | 50μm |
14 | 100μm |
二、光柵樣板
該類樣板主要用來校準掃描電子顯微鏡、原子力顯微鏡等各種線條尺寸測量儀器。
樣片類型：一維光柵、二維柵格
區域均勻性：優于15nm；
尺寸范圍：100nm～10μm（一維光柵）、2μm～10μm（二維柵格）
線條直線度：優于10nm；
類型 | 具體結構 |
復合型光柵樣板 | 包含一維結構：100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm； 二維結構：2μm、5μm、10μm |
微米級光柵樣板 | 包含一維、二維光柵結構 結構尺寸：2μm、5μm、10μm |
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心