掃描電鏡在觀察生物樣品時，而能否獲得真實、清晰、理想的掃描電鏡觀察結果，樣品的制備過程是關鍵。下面介紹一下掃描電鏡的原理和掃描電鏡的特點。

掃描電鏡的原理

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時可產生電子-空穴對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

掃描電鏡的特色。

掃描電鏡的特色：

（一） 能夠直接調查樣品外表的結構，樣品的尺度可大至120mm×80mm×50mm。

（二） 樣品制備進程簡單，不用切成薄片。

（三） 樣品能夠在樣品室中作三度空間的平移和旋轉，因此，能夠從各種角度對樣品進行調查。

（四） 景深大，圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍，比透射電鏡大幾十倍。

（五） 圖象的擴大規模廣，分辨率也比較高。可擴大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包含了從擴大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的擴大規模。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間，可達3nm。

（六） 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。

（七） 在調查描摹的一起，還可利用從樣品宣布的其他信號作微區成分剖析。