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CLBO Crystal
CLBO Crystal是一種新興的具有優(yōu)良深紫外非線性特性的晶體材料，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體檢測(cè)，顯微光刻技術(shù)，生物醫(yī)學(xué)，紫外雷達(dá)等領(lǐng)域。CLBO晶體具有光譜范圍寬，溫度容差大，接收角度大，離散角小，轉(zhuǎn)換效率高等優(yōu)點(diǎn)，因此CLBO在紫外波段是非常出眾的諧波發(fā)生器（Nd:YAG激光器的4HG & 5HG，一類(lèi)SHG波長(zhǎng)可達(dá)237nm）。
CLBO的主要特點(diǎn)：
• 短波截止波長(zhǎng)可達(dá)180nm；
• 對(duì)Nd:YAG激光器的四倍頻、五倍頻轉(zhuǎn)換效率大；
• 有效非線性系數(shù)大（約為KDP的兩倍）；
• 接收角度大，離散角小；
• 可通過(guò)相位匹配獲得193nm的真空紫外光輸出；
• 生長(zhǎng)周期短，可生長(zhǎng)大尺寸晶體。
表1. CLBO、BBO晶體的非線性光學(xué)參數(shù)比較
| 波長(zhǎng)(nm) | 晶體 | 相位匹配角 (°) | 有效非線性光學(xué)常數(shù) (pm/V) | 角度允許幅度 (mrad·cm) | 離散角 (°) | 波長(zhǎng)允許幅度 (nm·cm) | 溫度允許幅度 (℃·cm) |
| 532+532=266 | CLBO | 61.7 | 0.84 | 0.49 | 1.83 | 0.13 | 8.3 |
| BBO | 47.7 | 1.32 | 0.17 | 4.80 | 0.07 | 4.5 | |
| 1064+266=213 | CLBO | 68.4 | 0.87 | 0.42 | 1.69 | 0.16 | 4.6 |
| BBO | 51.1 | 1.26 | 0.11 | 5.34 | 0.08 | 3.1 |
表2. CLBO的結(jié)構(gòu)參數(shù)
| 晶體結(jié)構(gòu) | 四方晶系，空間群 |
| 晶格參數(shù) | a=b=10.494Å，c=8.939Å |
| 對(duì)稱(chēng)性 | Z=4 |
| 熔點(diǎn) | 約844.5℃ |
表3. CLBO的光學(xué)和非線性參數(shù)
| 透光范圍 | 180-2750nm |
| 有效非線性系數(shù) | 1.01pm/V at 532nm，1.16pm/V at 488nm，0.95pm/V at 1064nm |
| 損傷閾值 | 26GW/cm2 |
| 離散角 | 1.78°at 1064nm，1.83°at 532nm，0.98°at 488nm |
| 角度允許幅度(mrad·cm) | 1.02 at 1064nm，0.49 at 532nm，0.84 at 488nm |
| 波長(zhǎng)允許幅度(nm·cm) | 7.03 at 1064nm，0.13 at 532nm，0.09 at 488nm |
| 溫度允許幅度(℃·cm) | 9.4 |
| 非線性光學(xué)系數(shù) | deff(Ⅰ)=d36sinθmsin(2 φ) deff(Ⅱ)=d36sin(2θm)cos(2 φ) |
| Sellmeier 方程(λ in μm) | CLBO at 20℃ no2=2.2104+0.01018/（λ2-0.01424）-0.01258λ2 ne2=2.0588+0.00838/（λ2-0.01363）-0.00607λ2 (0.1914＜ λ ＜2.09 μm) |
注：CLBO極易潮解，請(qǐng)?jiān)诟稍锩芊獾沫h(huán)境下保存。
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