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當前位置：深圳秋山工業設備有限公司>>過程控制儀器>>壓力控制器>> L96SS/L96SH/L96SS-CO日本YUTAKA絕壓型真空調節控制器L96系列
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 3千-6千 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,能源,電子,電氣,綜合 |
日本YUTAKA絕壓型真空調節控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 特點介紹
L96系列是專為半導體工藝制造氣體設計的具有真空可調結構的產品。非常適合低蒸氣壓氣體。
基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規范，使其成為具有優異的外泄漏和顆粒性能的產品。
功能低壓1MPa以下
焊接規格金屬墊片管件調節閥結構針型兼容氣體7種特殊高壓氣體
腐蝕性氣體有毒氣體
以外的氣體標準流量～60NL/分鐘
日本YUTAKA絕壓型真空調節控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 規格參數
入口壓力 0.99MPa以下
調節壓力 -0.1MPa～0～0.2MPa
承受壓力 22.2MPa（進口側）
CV值 0.07
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）
內部容積 5.739cm（不含3個壓力表及接頭）
大量的 約1.6公斤
1/4"面對面密封接頭尺寸
（公母相同）…………………………約94mm
[備注]
■ 壓力表連接接頭的標準尺寸和形狀為1/4" 外螺紋面密封接頭。
■ 進出口接頭的類型、尺寸和形狀（外螺紋、內螺紋）組合如圖所示。可以從以下所示的產品型號代碼表中進行選擇。
■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接頭的面對面尺寸可能與標準面對面尺寸不同。
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