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TwisTorr 74 FS 渦輪分子泵是一種 70 L/s 小型渦輪分子泵,適用于研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究和電子顯微鏡。這款泵借助渦輪級與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動級之間的協(xié)同作用,可提供更高的真空性能。
其懸浮軸承技術(shù)可保證極低的振動和噪音,使其適用于靈敏儀器和敏感的工作環(huán)境。獨特的懸臂式懸掛系統(tǒng)確保您的應(yīng)用不會受到磁場干擾,也不會受到烴類污染。
特性
TwisTorr 74 FS 渦輪分子泵對輕質(zhì)氣體的高壓縮比以及無烴運行設(shè)計,保證出色的極限壓力
遠(yuǎn)程控制器可在距離 100 m 處進(jìn)行操作
高前級耐壓能力可使用更小的前級泵,降低成本及占地面積
低振動和低噪音 (41 dB(A)),打造舒適的工作環(huán)境并且可以在敏感的實驗環(huán)境下運行
免維護(hù)軸承,零運行成本
體積小巧,可安裝在任何位置,有利于輕松集成
真空計讀數(shù)功能,用于監(jiān)測系統(tǒng)壓力
通過 Vacuum Link 應(yīng)用程序?qū)崿F(xiàn)無線控制,以便隨時隨地進(jìn)行泵的操作
防輻射和防磁場設(shè)計,無嵌入式電子設(shè)備,可在強磁場和輻射環(huán)境下運行
低電磁輻射,確保不會干擾應(yīng)用流程
性能指標(biāo)
H2 壓縮比 |
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He 壓縮比 |
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N2 壓縮比 |
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冷卻方法 |
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前級管道法蘭尺寸 |
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前級耐壓 — N2 |
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啟動時間 |
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噪音水平 |
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工作位置 |
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建議采用的前級泵容量 |
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抽速 — Ar |
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抽速 — H2 |
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抽速 — He |
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抽速 — N2 |
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操作環(huán)境溫度 |
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最高氣體通量 — Ar、水冷 |
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最高氣體通量 — N2、水冷 |
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極限真空 |
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標(biāo)準(zhǔn)和認(rèn)證 |
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法蘭類型 |
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貯存環(huán)境溫度 |
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重量 |
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額定轉(zhuǎn)速 |
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工作原理
TwisTorr 拖動技術(shù)
來自渦輪級的氣體分子被推過 TwisTorr 拖動級。拖動技術(shù)壓縮分子,通過一系列具有特定幾何形狀的通道將其引導(dǎo)至出口,這些通道的特點是截面逐漸減小。氣體被壓縮,然后在高達(dá) 20 mbar 的壓力下排出,這可以通過小型的低成本前級泵輕松進(jìn)行管理。
安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS)
安捷倫懸浮軸承技術(shù) (AFS) 可在所有運行階段對 TwisTorr 分子泵的轉(zhuǎn)子位置進(jìn)行全面而準(zhǔn)確的控制。定位精度遠(yuǎn)小于 1 mm,而阻尼效應(yīng)大大降低了轉(zhuǎn)子的殘余振動,從而降低了分子泵的噪聲和振動。這兩種特性在許多應(yīng)用中十分重要,例如掃描電子顯微鏡 (SEM)。
適用于挑戰(zhàn)性環(huán)境的設(shè)計
TwisTorr 分子泵的一個特點是可以通過遠(yuǎn)程工作站進(jìn)行控制,電纜可長達(dá) 100 m。這意味著在有挑戰(zhàn)性的安裝環(huán)境下具有超高靈活性。這些泵經(jīng)過精心設(shè)計,不含任何電子元件,可用于各種應(yīng)用(包括存在磁場和輻射的應(yīng)用)。輻射吸收極限高達(dá) 5 × 105 戈瑞 (Gy),且橫向磁場極限為 5 mT(50 高斯),縱向為 10 mT(100 高斯)。