Physik Instrumente U-521 PILine線性平臺

• 快速精密定位小型負載：速度達200毫米/秒，小位移達0.3微米
• 節省空間：寬僅35毫米、高僅15毫米
• 關機后自鎖：節約能量，減少熱量產生
• 靜音
• 可按需提供定制版本

Physik Instrumente U-521 PILine線性平臺

精密級線性定位平臺

PILine平臺尤其適合要求快速精密定位的應用。關機后，自鎖驅動器保持平臺位置的機械穩定。因而可大大減少能量消耗和熱量產生。蓄電池驅動或熱敏型的低占空比應用可得益于這些特點。軸的位置通過一個編碼器和一個光學參考開關測量，該開關允許可靠的可重復運動。壓電電機驅動器原理及其電氣操作成本低，可定制。

增量編碼器用于高精度位置測量

非接觸式光學編碼器以*的精度直接在平臺上測量位置。非線性效應、機械作用或彈性形變不會對測量造成影響。

PILine超聲波壓電電機

作為PILine超聲波壓電電機*的一部分，壓電陶瓷促動器上被施加預載，通過一個耦合元件抵住移動導向轉子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動器被激發產生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動。建立的進給為幾納米每循環；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預載可確保驅動器在靜止狀態下和關機時自鎖。

應用領域

顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操縱、樣本定位、有限空間內的應用、真空應用可達10^-6百帕（可選）