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上海昊量光電設備有限公司

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昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模光刻機的獨代!

閱讀:4365      發布時間:2023-2-10
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喜報!昊量光電喜獲法國Microlight3D DMD無掩模光刻機獨家代理。

 

上海昊量光電設備有限公司自2023年1月1日正式成為Microlight3D公司SMART PRINT UV系列DMD無掩光刻系統的中國區獨家代理商,此次獲得Microlight3D的授權,體現了Microlight3D對上海昊量光電設備有限公司市場銷售的專業度及售后技術支持力量的高度認可。我們將一如既往的為國內廣大用戶提供更為優質的服務。

 

Microlight3D成立于2016年,在格勒諾布爾阿爾卑斯大學(Université Grenoble Alpes,UGA)進行了長達15年的3D微型打印技術研發。格勒諾布爾阿爾卑斯大學創建于1339年,是一所擁有近七百年歷史的國立綜合研究型大學,是歐洲最古老的大學之一,教學科研實力處于法國頂尖、世 界一流水平。作為具有世界影響力的法國公立大學,格勒諾布爾-阿爾卑斯大學先后誕生過3位諾貝爾獎獲得者(克勞斯·馮·克利青、路易·奈爾、熱拉爾·穆魯),1位圖靈獎獲得者(約瑟夫·斯發基斯)。

 

Microlight3D公司一直在快速發展,得益于Smart Print UV System在各地的實驗室和公立私立研究中心的大量銷售。

 

Microlight3D公司推出的DMD無掩模光刻系統Smart Print UV系列,是一種基于DMD投影技術的無掩模光刻設備,可兼容多種抗蝕劑和基材。Smart Print UV可以在微米分辨率下產生任何2D形狀,而不需要硬掩模。

 

圖片1.png

 

Smart PrintUV系統特點:

 

最小特征尺寸1.5um

可更換目標的可調節寫入區域和分辨率

兼容CAD文件及bitmap文件

兼容SU-8g線、h 線、i 線等絕大部分光刻膠

兼容多種基材(硅、玻璃、柔性薄膜、金屬、塑料等)

兼容多種樣品尺寸:2''4''晶圓、4''5''方形或者定制更大尺寸、顯微鏡矩形載玻片、14mm25mm圓形載玻片

反饋相機:聚焦,對齊,準直

手動旋轉臺:360°可旋轉,精度 0.1°

 

圖片2.png

 

桌面型,占地空間小

曝光速度相比同類型產品更快!

ji具性價比!

軟件操作和設備維護簡單!

交貨周期短!

可免費打樣!

 

Smart PrintUV功能選件:

 

1X Objective 磁吸快速更換鏡頭

10.6 mm x 5.9 mm FOV and 15 µm resolution

5X Objective 磁吸快速更換鏡頭

2.1 mm x 1.2 mm FOV and 3 µm resolution

10X Objective 磁吸快速更換鏡頭

1.06 mm x 0.59 mm FOV and 1.5 resolution

 

圖片3.png

 

4" 晶圓樣品支架

玻璃載玻片樣品支架

 

圖片4.png

 

多用途大型樣品支架

兼容4" & 5" 方形基板, 2" & 4" 晶圓, 顯微鏡載玻片, 14 mm & 25 mm 圓形載玻片

 

圖片5.png

 

定制化樣品支架

根據客戶要求,可適應更大樣品尺寸多個樣品兼容柔性膜材基底New!

保修期延期

設備保修期2年,軟件免費升級2


Smart PrintUV核心規格

 

型號

SP-UV.Standard

SP-UV.Advanced

光源

曝光波長:385nm;校準波長:590nm

最小特征尺寸

1.5um

度(1cm2區域)

2um

1um

拼接精度

2um

1um

最大曝光范圍

70×70mm2

110×110mm2

尺寸

4英寸(wafer)

5英寸(方形)

寫入速度

77mm2/min

220mm2/min

系統尺寸

××高:52(cm)×52(cm)×69(cm)

軟件包:

電腦

Windows 10Pro, 24inch屏幕

SFTprint軟件

機器控制、步進重復、自動劑量測試、拼接、對齊

SFT轉換器

將標準CAD格式(gdsiidxfcifoas)轉換為機器格式;包含CAD軟件

鏡頭選項:

物鏡

1X

2.5X

5X

10X

寫入區域(mm

10.56×5.94

4.2×2.4

2.1×1.2

1.06×0.59

最小線寬(um

15

6

3

1.5

 








Smart PrintUV應用領域:


 

Smart Print UV需要制作表面微圖案、微結構的任何應用領域的wan美設計,如MEMS微流體,二維材料,自旋電子學,生物技術和微電子

 

Microlight3D公司還有另外一款明星產品-雙光子聚合3D納米光刻機。

2007年,第一代雙光子聚合3D納米光刻機microFAB-3D問世,在中國大陸、中國臺灣和歐洲地區有大量的銷售。

2018年,公司獲得了法國研究與創新部頒發的公共研究領域最 ju創新力年輕公司獎

2019年,推出了第一代緊湊型桌面式雙光子聚合3D納米光刻機。

       2019年,Microlight3D完quan收購了無掩模光刻系統制造商SmartForceTechnologies

 

圖片6.png

 

未來,上海昊量光電設備有限公司將獲得Microlight3D更多的資源支持,昊量光電也將繼續秉承互利共贏的發展理念,充分發揮自身強大的專業技術溝通和服務優勢,力爭為國內MEMS,微流體,二維材料,自旋電子學,生物技術和微電子等應用領域的研究和推廣貢獻一份力量,滿足并不斷超越客戶的期望,致力于為國內前沿的科研與工業領域提供優質的產品與服務,助力中國智造與中國創造。

歡迎繼續關注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產品介紹與技術新聞。


更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電

關于昊量光電:

上海昊量光電設備有限公司是光電產品專業代理商,產品包括各類激光器、光電調制器、光學測量設備、光學元件等,涉及應用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫療、科學研究、國防、量子光學、生物顯微、物聯傳感、激光制造等;可為客戶提供完整的設備安裝,培訓,硬件開發,軟件開發,系統集成等服務。

 

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