詳細介紹
封閉式干涉式激光尺
微型激光干涉儀,以工業(yè)應用中最重要的線型標定為核心,將光學相干光路等集成在單個光電芯片上,一步實現(xiàn)激光干涉儀的線型測長和標定功能,從而簡化了干涉儀系統(tǒng)測試時的復雜程度。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
小型化激光傳感模組及基于Patented的無源移動頭等設(shè)計,使本產(chǎn)品結(jié)構(gòu)更為簡單,支持高速移動,且安裝時無需精密對中,進一步提升了設(shè)備的應用靈活性和效率。
封閉式干涉式激光尺是將多種光學元件和技術(shù)集成在單一光學芯片上,這些光學元件數(shù)量達到數(shù)十至數(shù)百個光學元件。這些技術(shù)包括激光器、調(diào)制器、光電探測器和濾波器等。通過將這些芯片與激光二極管、探測器陣列和光學透鏡結(jié)合,成功構(gòu)建了一個小型化的激光傳感模組。此外,我們推出的無源移動頭,與傳統(tǒng)光柵尺的有源頭相比,其結(jié)構(gòu)更為簡單,支持高速移動,且安裝時無需精密對中,進一步提升了設(shè)備的應用靈活性和效率。通過這種集成化的激光干涉儀技術(shù),在先進制造領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了廣泛應用,尤其在高精度測量和校準高級數(shù)控機床以及直線電機平臺的線性位移方面,展現(xiàn)出其性能。