邁可諾技術有限公司
主營產品: 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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參考價 | 面議 |
更新時間:2024-05-16 12:46:33瀏覽次數:2602
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應用領域 | 環保,化工,生物產業,能源,電子 |
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一、產品概述: 勻膠機650MZ-23UD3B型勻膠機適應于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。美國Laurell勻膠機具有穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的*性和均勻性,這正是650S 型勻膠機的特點。 二、勻膠機工作原理: 三、勻膠機主要性能指標: 2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直徑的材料,方片125x125mm,小于10mm提供3mm的轉接托盤); 3、轉動速度:0-12,000rpm, 4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec; 5、馬達旋涂轉速:穩定性能誤差 < ±1%; 6、轉速調節精度:<1rpm,重復性< 0.2rpm; 7、工藝時間設定:1-5999.9 sec/step 0.1 精度; 8、勻膠機材質:NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性,美觀大方; 9、高精度數碼控制器:PLC控制,設置點精度小于0.006%。 10、程序控制:可存儲20個程序段,每個程序段可以設置51步不同的速度狀態; 11、分辨率:分辨率小于1轉/分,可重復性小于±1轉/分,美國國家標準技術研究院(NIST)認證過的,并且無需再校準!] 13、配套分析軟件:SPIN3000操作分析軟件; 14、*水平測試儀; 可選配置: IND構造為濕站系統設計,帶遠程控制; OND構造為手套箱系統設計,帶遠程控制; UD自動滴膠裝置:UD-3帶倒吸裝置的多噴嘴可編程針筒, EBR(Edge Bead Remover):晶圓去邊,機械裝置; |