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當前位置：岱美儀器技術服務（上海）有限公司>>晶圓缺陷檢測>>LAZIN>> LODAS™ – AI50/100Photomask Blanks缺陷檢查裝置
列真株式會社自創業以來，秉承“挑戰"、“創造"、“誠實"的經營理念，為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術，專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征：
半導體用Photomask Blanks的出廠檢查、工藝評價
用微分干涉顯微鏡分析缺陷
檢查對象：Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi
檢查項目：顆粒、內部缺陷（Option）
檢查靈敏度：PDM缺陷尺寸0.1μm（AI00）
列真公司檢查裝置的維護、修理
定期支持裝置安裝完成后的性能維持。
24小時電話對應，全年無休的安心支持。
認真對待客戶新的要求。
召開技術研討會和充實各種手冊，讓顧客能夠自行維護和更換零件。
提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務。
