上海美析儀器有限公司
電子級氫氟酸雜質(zhì)含量檢測方案（ICP-MS）
檢測樣品：電子級氫氟酸
檢測項目：雜質(zhì)含量
方案概述：高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用,主要應(yīng)用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前,在國內(nèi)基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè),其他方面用量較少。
引言
高純氫氟酸為強酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用,主要應(yīng)用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前,在國內(nèi)基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè),其他方面用量較少。
方案依據(jù)SJ/T 11637--2016電子化學(xué)品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則
方法原理
試樣溶液經(jīng)霧化系統(tǒng)霧化后形成氣溶膠，由載氣帶入等離子體內(nèi)，在高溫和惰性氬氣氣氛中蒸發(fā)、汽化、解離和電離，轉(zhuǎn)化成帶正電荷的離子，經(jīng)離子采集系統(tǒng)進(jìn)入質(zhì)譜儀，按離子的質(zhì)荷比進(jìn)行分離，各離子質(zhì)譜峰的強度與樣品中相應(yīng)離子濃度成正比，可對各元素進(jìn)行定性或定量分析。
儀器及試劑
美析ICP-MS6880電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS)
精密微量移液器及潔凈的聚丙烯（PP）吸頭
精密微量移液器量程: 10u L-100uL，100uL-1000uL。
全氟烷氧基樹脂(PFA)瓶
實驗用水符合GB/T 11446.1規(guī)定的EW-Ⅰ級電子級水。
超純硝酸，金屬離子含量不大于1ug/L。
相關(guān)產(chǎn)品清單
溫馨提示：
1.本網(wǎng)展示的解決方案僅供學(xué)習(xí)、研究之用，版權(quán)歸屬此方案的提供者，未經(jīng)授權(quán)，不得轉(zhuǎn)載、發(fā)行、匯編或網(wǎng)絡(luò)傳播等。
2.如您有上述相關(guān)需求，請務(wù)必先獲得方案提供者的授權(quán)。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布，信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由上傳企業(yè)負(fù)責(zé)，化工儀器網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
最新解決方案
- 精密鼓風(fēng)干燥箱在手機主板缺陷測試實踐
- “鄰”危受命，全面應(yīng)對 | 譜育科技針對RoHS 2.0中鄰苯二甲酸酯檢測解決方案
- GNR殘余應(yīng)力分析儀EDGE對激光水平儀的測試
- MLCC用內(nèi)電極鎳漿的分散解決方案
- LISICO LS-1分散均質(zhì)分析測試儀在MLCC用鈦酸鋇漿料的應(yīng)用
- 紅外光譜法分析光刻膠的主成分
- 微波馬弗爐處理—火焰原子吸收光譜法測定廢舊電路板中金銀鉑鈀
- 【CEM】電子設(shè)備組件樣品制備用于IEC 62321-7-2:2017方法六價鉻含量分析
- 如何測試電極涂層在電極表面的附著牢度
- 電感耦合等離子體質(zhì)譜在半導(dǎo)體高純材料分析中的應(yīng)用
該企業(yè)的其他方案
業(yè)界頭條
- 濕法刻蝕機中標(biāo)結(jié)果公告
-
項目名稱：京東方重慶第6代AMOLED（柔性）生產(chǎn)線項目，項目編號：4197-244BOECQ000...
