光學表面形貌特征測量分析儀（型號：Proscan 2000，英國Scantron生產，*）
- 公司名稱 上海貝丁漢工業自動化設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2018/4/14 18:40:23
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上海貝丁漢工業自動化設備有限公司——主要從事各種進
口儀器儀表、機械設備、電子產品及其配件等的銷售和技術服務工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理，美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經營的主要產品包括光學粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調諧儀等。
本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業標線和艉軸管檢測、汽車發動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測，及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。
載波包絡相位調諧儀,色散測量儀，雙頻激光干涉儀，激光平面度測量儀，粗糙度輪廓儀，輥筒平行度測量儀
產品功能
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波面度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于150*100*100mm，更大尺寸可以定做；工作臺zui大承載重量40Kg。
產品廣泛應用于汽車工業、造紙工業、鋼鐵工業、薄膜加工、半導體加工、MEMS等行業。
應用范圍
* 機械密封的平面度和輪廓測量（包括圓柱套筒累零件，如軸、凸輪、缸套、閥門挺桿、曲軸、活塞桿等）；
* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；
* BGA焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；
* 造紙行業的表面紋理分析；
* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；
* 化學蝕刻產品的蝕刻深度和面積測量；
* 壓花材料表面特征分析，如合成材料皮革表面形狀測量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產品和生物醫療器械等；
* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；
* 法醫學上三維表面測量分析；
* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫學上如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面計算分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統接觸方式無法檢測的產品的表面形態測量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波面度和輪廓測量分析。
產品介紹
英國Scantron Industrial Products Ltd公司生產的Proscan 2000光學表面形貌特征測量分析儀，采用非接觸式傳感器掃描技術，用于對各種產品的和部件的表面形貌特征進行測量和分析，它比傳統的探針式輪廓儀操作更方便，測量精度更高。由于采用非接觸的測量方式，線性電機可以避免驅動裝置的噪聲和振動對測量結果的影響。
Proscan 2000光學表面粗糙度輪廓儀zui大掃描速度可達到80mm/秒，每秒2000個數據點，每行可掃描20000個獨立的數據點，高度分辨率更可達到3nm，測量范圍是80μm-10mm。
Proscan 2000以花崗巖為工作平臺，是快速、精準、非接觸式的三維表面形態測量儀器。廣泛應用各種表面輪廓和形貌特征進行精確測量的場合。高性能非接觸式光學傳感器掃面范圍是150mm（長）X100mm（寬），對被測件平面的掃描點數zui多可達八百萬個數據點。配套軟件可以對各種測量參數進行分析。
產品特點
* 花崗巖框架結構，受熱脹冷縮影響非常小，基本沒有振動。
* 配套軟件可以以二維或三維的方式進行掃描結果顯示和形貌分析。
* 數據分析結果方便導出，導出方式可謂ASCII、ZZZZ...LF及XYZLF...CR’a’等。
* 數據設定可選擇二維X-Y平面視圖，還可進行三點平面修正和自動水平功能。
評定參數
Am 輪廓算術平均值
Ra 粗糙度中心線平均值
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 十點高度
Rmax 峰谷高低zui大值
Rp 峰值高度平均值
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度zui大值
Rvm 谷值深度zui大值
R3z 第三峰谷高低平均值
Wt 波形深度總值
Pt 輪廓深度總值
Nr 峰值計數歸一
Tpa 材質率（宏）
D 峰值密度
S 峰值輪廓平均間距
Sm 峰值就地平均間距
Lm 采樣長度
共面性
Warpage濾波器，過濾表面粗糙度數據，而僅保留輪廓數據
Surface濾波器，過濾表面輪廓數據，而僅保留粗糙度數據
對單點進行編輯
在X和（或）Y軸上進行插值
半徑計算
體積計算
表面積計算
截面積計算
三維輪廓顯示
技術規范
| 掃描儀zui大尺寸（長*寬*高） | 740*542*（780-835）mm |
| 掃描儀zui大重量 | 40Kg |
| 電控部分尺寸 | 570*700*750mm |
| 電控部分重量 | 40Kg |
| 計算機顯示器 | 15” LED顯示器 |
| 照明與定位攝像頭（可選） | 14” CRT |
| 掃面平臺尺寸 | 380*280mm |
| X和Y軸行程距離 | 150mm*100mm |
| Z軸行程距離 | 100mm |
| 電源 | 220 - 240 VAC, 50/60Hz |
| 使用環境 | 10-35℃ |
| X及Y軸掃描點zui小間隔距離 | 1μm |
| X及Y軸掃描點zui大間隔距離 | 9.999mm |
| 標準配置掃描樣品zui大重量 | 6Kg |
| zui大數據采集速度（取決于傳感器及設定） | 20000點/秒 |
| zui大掃描速度（取決于傳感器及設定） | 80mm/秒 |
| 回程速度 | 100mm/秒 |
| zui大掃描點數 | 576萬點 |
傳感器選型方案
| 傳感器 型號 | 粗糙度 測量范圍 | 傳感器與zui高點 距離mm | 分辨率 | 線性度 （%+/-量程） | 技術 原理 |
| S5/03 | 0.3mm | 5 | 0.01μm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S38/3 | 3mm | 38 | 0.1μm | 0.1 | 白光色差技術 |
| S65/10 | 10 mm | 65 | 0.3μm | 0.1 | 白光色差技術 |
| L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角測量技術 |
| L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
| L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
| L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
各種可選項
* 照明與定位攝像頭，用于小型部件的定位和缺陷檢查；
* 其他各種傳感器；
* 仿制材料，用于對不容易進入的區域和對表面測量有困難的場合；
* 比標準的X和Y行程范圍更大的測量平臺。
產品尺寸圖
應用舉例
一、電子元件的形貌檢查
電子元件的原貌
對單個BGA的掃描結果
*檢測BGA（包括穴距）和倒裝芯片的包裝情況，自動分析共面性、球面高度、球的位置和包裝扭曲情況；分析絲焊高度和輪廓；亞微米級分辨率，三維圖形顯示平均、zui大和zui小深度。
二、部件表面粗糙度測量
被測部件原貌
掃描后的結果分析
精確分析被測部件的表面紋理、波面度和形態特征，符合ISO和DIN的粗糙度參數分析標準，包括Ra、Rz、Rmax、Rq、Rvm、Rpm、Pt、Nr、D、Sm、Wt和Tpa等。可測量出平面度、表面積、體積、承載比和部件的精確尺寸。
三、紙張類表面的紋理分析
掃描前的產品原貌
掃描后的分析圖
對板材類、紙張類產品的表面進行紋理和形貌特征分析，自動計算各種表面分析的參數，如Ra、Rz、Rmax、Rvm、Rpm、Sm和材料比等，測量速度快，結果準確，操作簡單。
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