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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>其它測量/計量儀器>測振儀> MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀

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MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 杭州雷邁科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/12/11 18:49:11
  • 訪問次數 101

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杭州雷邁科技有限公司(Labmates Technology成立于2010,公司致力于實驗室*科學儀器和工業專用設備的研發、銷售和技術服務,產品應用于新材料、電子、半導體、化工、光伏、玻璃等眾多行業及高等院校和科研機構。

 

公司主營產品包括鐵電材料測試儀、寬頻介電阻抗譜儀、薄膜壓電測試儀、3D輪廓儀、顯微CT、光譜分析儀、X射線衍射儀和分光光度儀等分析測試儀器和設備。我們關注科技發展趨勢和動態,與時俱進引進新興功能性材料的分析和表征整體解決方案,已與眾多高校及科研院所建立起技術交流和合作關系,以專業應用技術為優勢,以產品整體解決方案為己長,為用戶提供可靠的產品和有效的服務。

 

經過團隊每一個成員的持續努力和奮斗,公司不斷拓展業務范圍和知識的邊界,穩步發展。專業的銷售和技術服務工程師,結合*的產品和誠實守信的經營理念,贏得廣大客戶的認可。特別在不斷涌現的新材料和技術方面,我們緊跟步伐,不斷開拓,竭誠為廣大客戶提供優質的產品和服務!

 

我們的愿景是通過提供以科學為基礎的高品質、新技術的產品和服務,成為*實驗室的專業合作伙伴,此正是我們的英文名稱“Labmates”之寓意。我們真誠感謝客戶的支持,期待分享一個成功的未來。

 




分光測色儀,鐵電測試儀,光學輪廓儀,原子力顯微鏡,光譜儀,測配色系統等實驗室儀器和設備

產地類別 國產 價格區間 5萬-10萬
應用領域 能源,電子,交通,航天,電氣

MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀基于激光干涉原理,激光干涉儀是高精度、高靈敏度的測量儀器,廣泛應用在先進制造領域。MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀采用了自主研發的高度集成化的激光傳感平臺,以工業應用中最重要的線型標定為核心,將干涉儀的參考光路內置于干涉儀中,將光學相干光路等集成在單個光電芯片上,一步實現激光干涉儀的線型測長和標定功能,從而簡化了干涉儀系統測試時的復雜程度。

MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀


MetriLiDAR MM-X系列微型激光干涉儀半導體典型應用

●超高精度位置跟蹤應用

在光刻過程中,分辨率是反映光刻機理論上可識別的最小特征尺寸的重要指標,也決定著運動系統的控制精度。由于整個曝光過程中要求系統以恒定的速度運行,對速度的均勻性要求較高,因此對控制的精度的要求更為苛刻,通常情況下,勻速性由跟蹤誤差反映,無掩模掃描式光刻系統的控制要滿足納米級精度, 工件臺自身的控制也要求達到該數量級,并且工件臺控制系統的跟蹤定位精度也是影響套刻精度的重要因素,預防反復曝光芯片刻蝕過程中,發生偏離導致電路圖案扭曲影響芯片性能。


l  平面檢測

在光刻測量過程中,硅片在高速運動情況下,容易發生形變,從而影響硅片的平面度,降低光刻精度。為了優化硅片平臺的操作模式,需要一種納米級超高精度、無接觸的形變量測量方式。



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