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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>濕法工藝設(shè)備>濕法清洗設(shè)備> 水平爐管清洗機|蘇州芯矽電子科技

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水平爐管清洗機|蘇州芯矽電子科技

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2024/12/6 10:07:22
  • 訪問次數(shù) 28

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芯矽科技是一家專注半導體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導地位,已經(jīng)成功取得長江存儲,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導體濕法設(shè)備

水平爐管清洗機是一種專門用于清洗石英爐管或石英舟的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導體制造、光學鍍膜和材料科學研究等領(lǐng)域。以下是關(guān)于水平爐管清洗機的詳細介紹:

一、設(shè)備概述

水平爐管清洗機通過浸泡、旋轉(zhuǎn)和噴淋等方式對爐管內(nèi)壁進行高效清洗,以去除顆粒、有機物、金屬離子等污染物。其結(jié)構(gòu)主要由清洗槽、溢流排放槽、本體、工件支撐及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)、排風系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)及電器部分構(gòu)成。該設(shè)備具有自動化程度高、操作簡便、清洗效果好等優(yōu)點。

二、主要特點

自動化程度高:設(shè)備采用PLC控制,可實現(xiàn)自動運行,無需人工干預(yù),大大降低了人力成本,同時提高了生產(chǎn)效率。

清洗效果好:通過浸泡、旋轉(zhuǎn)和噴淋等多種方式相結(jié)合,能夠去除爐管內(nèi)壁的污染物,確保清洗效果。

操作簡便:設(shè)備設(shè)計人性化,操作界面友好,易于上手。同時,設(shè)備還具備故障自診斷功能,方便用戶及時排除故障。

安全可靠:設(shè)備采用多重安全保護措施,如漏電保護、過載保護等,確保操作過程的安全可靠性。

節(jié)能環(huán)保:在清洗過程中,設(shè)備采用節(jié)能技術(shù),降低能耗,同時減少廢水、廢氣等污染物的排放,符合綠色環(huán)保理念。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

水平爐管清洗機廣泛應(yīng)用于以下領(lǐng)域:

半導體制造:用于清洗半導體制造過程中使用的石英爐管,確保爐管的清潔度,提高芯片的良率和性能。

光學鍍膜:在光學鍍膜過程中,爐管的清潔度直接影響到鍍膜的質(zhì)量。水平爐管清洗機能夠有效去除爐管內(nèi)的污染物,保證鍍膜質(zhì)量。

材料科學研究:在材料科學研究中,需要對爐管進行嚴格的清洗,以確保實驗的準確性和可靠性。水平爐管清洗機能夠滿足這一需求。

四、技術(shù)參數(shù)(示例)

電源:AC 380V 三相五線制

總功率:約25KW

外形尺寸:長寬高 600016001800mm(不含尾氣塔)

清洗對象長度:2000mm

清洗對象外徑范圍:Ф10~Ф150mm

旋轉(zhuǎn)速度:變頻調(diào)速,0~30轉(zhuǎn)/分可調(diào)

裝料高度:≤700mm

排水口:DN25

進水口:DN20

節(jié)拍時間:<120S/籃(含液位等待時間)

單次處理量:1件Φ150以內(nèi),長度≤2000mm的石英爐管或2件石英舟(極大限額)



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