化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備>NLD-570 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
NLD-570 日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
- 公司名稱 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 NLD-570
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/25 14:27:02
- 訪問次數(shù) 97
聯(lián)系方式：吳曉雨19270095986 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設(shè)備,環(huán)境測量設(shè)備 環(huán)境檢測設(shè)備
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合 |
|---|
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備研發(fā)
NLD干法刻蝕設(shè)備研發(fā)NLD-570
研發(fā)用NLD干法蝕刻 NLD-570是ULVAC原創(chuàng)開發(fā)的使用磁中性線等離子體（NLD）的低壓、低電子溫度、高密度等離子體的干法蝕刻裝置。
特征
與ICP法相比，NLD具有更低的壓力、更高的密度和更低的電子溫度等離子，因此適合加工石英、玻璃、晶體、LN、LT基板等。
耐熱玻璃和硼硅酸鹽玻璃等雜質(zhì)較多的玻璃可以蝕刻出優(yōu)異的形狀和表面光滑度。
厚膜抗蝕劑還可用作石英和玻璃深蝕刻（100μm以上）的掩模。
可進行高速蝕刻（石英>1μm/min、Pyrex>0.8μm/min）
可以添加盒室。
目的
光學(xué)器件（衍射光柵、調(diào)制器、光波導(dǎo)、光開關(guān)等）、凹凸微透鏡、光子晶體、流體路徑（μ-TAS）創(chuàng)建等。
特別提示：商品詳情頁中（含主圖）以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格，商品的具體價格以訂單結(jié)算頁價格為準或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達成的實際成交價格為準；如您發(fā)現(xiàn)活動商品價格或活動信息有異常，建議購買前先咨詢商家。
具體的成交價格可能因商品參加活動等情況發(fā)生變化，也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化，如用戶與商家線下達成協(xié)議，以線下協(xié)議的結(jié)算價格為準，如用戶在上完成線上購買，則最終以訂單結(jié)算頁價格為準。
采購中心
化工儀器網(wǎng)