日本ULVAC愛發科大型設備濺射SV-9045
日本ULVAC愛發科大型設備濺射SV-9045
間歇式濺射設備SV系列
特征
SV-4540、6040和9045為轉盤式，具有較大的電路板裝載能力，非常適合中小型或小批量、多品種生產。
SV-200 圓盤壓模機 鎳膜沉積專用設備，超緊湊、全自動、高產量。
目的
在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜
規格
| SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
| 標準排氣系統 | 8”低溫泵 | 12”低溫泵 | 12”低溫泵 | 16”低溫泵 |
| 極限壓力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| 車廠方向 | 邊 | 邊 | 邊 | 邊 |
| 成膜面積均勻性 靜 轉 | Φ200mm±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
| 基材加熱 | 沒有任何 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 控制系統 | 自動的 | 自動的 | 自動的 | 自動的 |
不包括選項SV-200 | 渦輪泵 | 非水冷電極 | ||
| 油擴散泵 | APC機制 | |||
| 多個同時倉庫 | 基材換向機構 | |||
| 下站 | 反應濺射 | |||
| 常規陰極 | ||||
| 鐵磁材料陰極 | ||||
| 射頻蝕刻清洗 (SV-4540) | ||||
| 偏置機構（SV-4540） | ||||
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