CA720 晶圓接觸角測量儀 半導(dǎo)體潤濕性分析
| 參考價 | ￥50000-￥100000/臺 |
- 公司名稱 廣東北斗精密儀器有限公司
- 品牌北斗儀器
- 型號CA720
- 所在地東莞市
- 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
- 更新時間2024/11/21 15:32:25
- 訪問次數(shù) 127
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| 表界面張力測量精度 | 0.01 mN/mmN/m | 表面張力測量范圍 | 0.1mN/m-2000mN/mmNm |
|---|---|---|---|
| 測量精度 | 0.1°° | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
| 固定樣品臺大小 | 6-12寸晶圓mm | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
| 接觸角測量范圍 | 0°＜θ＜180°° | 儀器類型 | 實(shí)驗(yàn)室臺式 |
| 儀器種類 | 視頻光學(xué)接觸角測定儀 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,綜合 |
1.樣品臺專為晶圓設(shè)計，可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ堋?/span>
2.矩陣型多點(diǎn)測試，測試精準(zhǔn)簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。
3.一次測試點(diǎn)位多達(dá)50+個,可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。
4.測試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。
5.批量方案設(shè)置功能，可保存多個測量方案，一次保存，終身無需再設(shè)定。可隨時調(diào)取。
貨期：現(xiàn)貨
品牌：北斗儀器
型號：CA720
產(chǎn)地：廣東東莞
名稱：全自動晶圓專用接觸角測量儀
接觸角（Contact angle）是指在氣、液、固三相交點(diǎn)處c作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤濕程度的量度。是現(xiàn)今表面性能檢測的主要方法。晶圓接觸角測量儀 半導(dǎo)體潤濕性分析，采用光學(xué)成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進(jìn)后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。晶圓接觸角測量儀 半導(dǎo)體潤濕性分析， 采用全自動進(jìn)液裝置，性價比高、拓展性強(qiáng)、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求，目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。
專為晶圓深度定制的一臺 晶圓接觸角儀 ，廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究，是一臺快速測量晶圓多點(diǎn)位潤濕性分析測量的設(shè)備。
設(shè) 備整體參數(shù) | 型號 | CA720 |
名稱 | 全自動晶圓專用接觸角測量儀 | |
類型 | 晶圓型 | |
機(jī)身材質(zhì) | 航空鋁 | |
輸入電源 | 220V 50-60Hz | |
功率 | 10W | |
儀器尺寸 | 約890mm（W）*400mm(L)* 580mm(H) | |
儀器重量 | 約30KG | |
樣品平臺系統(tǒng) | 平臺尺寸 | 直徑320mm |
前后Y移動 | 自動：行程160mm,精度0.1mm | |
測試速度 | 0.1-50mm/s | |
上下Z移動 | 手動：行程30mm,精度0.1mm | |
水平調(diào)整 | 整機(jī)水平調(diào)整，攝像頭水平調(diào)整（配送專業(yè)級XY水平儀） | |
可放置樣品 | 6-12寸 | |
樣品臺材質(zhì) | 鋁合金帶四向?qū)χ屑夹g(shù) | |
注射 系 統(tǒng) | 注液移動行程 | Y行程：40mm Z行程（自動）：35mm，精度0.1mm（針頭對中及液滴自動轉(zhuǎn)移） |
滴樣控制移動 | 行程：60mm,精度：0.01mm | |
滴樣方式 | 自動 | |
滴樣速度 | 0.01-25ul/s | |
滴液精度 | 0.01ul | |
加液方式 | 自動（配送5ml玻璃燒杯加液） | |
微量進(jìn)樣器 | 容量：500ul（全自動液位實(shí)時檢測） | |
針頭 | 標(biāo)配0.5mm不銹鋼針頭（可替換）10個、超疏水針頭0.25mm（可替換）10個 | |
采集 系 統(tǒng) | 相機(jī) | 日本SONY原裝高速工業(yè)級芯片(Onsemi行曝光) |
鏡頭 | 0.7x-4.5x | |
傳感器類型 | 1/1.8 英寸逐行掃描CMOS | |
分辨率 | 1280×1024 | |
焦距 | ±2.5mm可調(diào) | |
圖像拍攝方法 | 單張、間隔、連續(xù) | |
拍攝間隔時間 | 500-3600000ms | |
視頻錄制方式 | 錄像、回播、合成 | |
清晰度測量 | 全自動軟件對焦 | |
最大拍攝速度 | 80幀/s | |
光 源 系 統(tǒng) | 光源 | 美國進(jìn)口工業(yè)級白色冷光源（有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴） |
組合方式 | 采用日本進(jìn)口石英擴(kuò)散膜使得亮度更均勻，液滴輪廓更清晰 | |
使用壽命 | 5萬小時以上 | |
亮度調(diào)節(jié) | PWM無極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié) | |
亮度識別 | 通過北斗算法自動識別亮度保證優(yōu)良亮度 | |
光源波長 | 400～760nm | |
接觸角測量 | 功率 | 1W |
接觸角測量方法 | 懸滴法、座滴法等 | |
測量軟件 | CA V2.0靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件 | |
軟件操作系統(tǒng)要求 | windows 10(64位) | |
接觸角測量方式 | 自動與手動 | |
接觸角計算方法（static contact angle） | 自動擬合法（ms級別一鍵全自動擬合，不存在人工誤差）、三點(diǎn)擬合、五點(diǎn)擬合、自動測量（包括圓擬合法/斜圓擬合法（Circle method/ Oblique Circle）、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測量等 | |
動態(tài)接觸角測量 （Dynamic contact angle） | 前進(jìn)角（Advancing angle），后退角（receding angle），滯后角（hysteresis angle） (可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計算Video analysis) | |
基線擬合 | 自動與手動 | |
角度范圍 | 0°＜θ＜180° | |
精度 | 0.1° | |
分辨率 | 0.001° | |
表 面 能 | 表面能測量方法 | Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（軟件中預(yù)裝37種液體數(shù)據(jù)庫，可自行建立液體性能參數(shù)）數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算，液體庫數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等 |
表面能單位 | mJ/m2 | |
表界面張力 | 測量方法 | 自動擬合+手動擬合 |
精度 | 0.01 mN/m | |
測量范圍 | 0.1mN/m-2000mN/m | |
潤濕性分析 | 粘附功 | 一鍵自動分析 |
鋪展系數(shù) | 一鍵自動分析 | |
粘附張力 | 一鍵自動分析 | |
精度 | 0.001 mN/m | |
單位 | mN/m |
眾所皆知，軟件是一臺儀器的靈魂所在，組成系統(tǒng)的硬件雖為測量提供了基礎(chǔ)，但只有在軟件的支持下，才能實(shí)現(xiàn)硬件的功能，充分發(fā)揮其潛力，使系統(tǒng)的總體功能和性能如虎添翼。
本公司研發(fā)定制的CA V1.2.1靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件專用測控軟件自2010年開始就面向客戶提供使用，經(jīng)過11年來各行業(yè)客戶的使用反饋、使用要求、國家標(biāo)準(zhǔn)和國外標(biāo)準(zhǔn)的融合，已經(jīng)達(dá)到一個很成熟穩(wěn)定的狀態(tài)。
擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件控制系統(tǒng)（行業(yè)內(nèi)極少），在對以后軟件升級，新標(biāo)準(zhǔn)更換的時候起到一個很大的優(yōu)勢。
測試報告
精細(xì)機(jī)械：系統(tǒng)的框架選用高質(zhì)量的進(jìn)口高強(qiáng)度氧化保護(hù)鋁型材并烤漆處理，所有的其它主要組件也都是由鋁合金，不銹鋼和銅合金通過精密制作而成。
精密定位：系統(tǒng)所有的線性移動單元，包括三維樣品臺（xy-軸），(Z-軸)注射器/針頭的移動調(diào)節(jié)，均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅(qū)動，確保傳動平穩(wěn)、輕松和精細(xì)。
自動控制：作為標(biāo)準(zhǔn)配置CA-200配備了專業(yè)級軟件控制的精密自動液體分配系統(tǒng)AD（Automatic Dispensing）。采用精密線性直線導(dǎo)軌滴液，控制精度可達(dá)0.1ul,確保測量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，普賽特人改變傳統(tǒng)導(dǎo)液管進(jìn)液的方式，采用推桿直頂式結(jié)構(gòu)，更方便進(jìn)樣器的清洗及更換，同時避免了傳統(tǒng)導(dǎo)液管進(jìn)樣排空氣難且需專業(yè)人士操作的難題。它既可裝載高精度氣密玻璃微量注射器（如用于需精密/精細(xì)體積控制的測量）又可配置一次性塑料注射器（如用于難清洗的液體樣品測量）；當(dāng)液體用完后，可直接通過配送的5ml燒杯進(jìn)行自動加液。
配置齊全的進(jìn)樣器與針頭選擇：提供數(shù)十種不同規(guī)格的進(jìn)樣器供使用者選擇，如不同規(guī)格（25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….）,不同材質(zhì)（氣密玻璃進(jìn)樣器/塑料進(jìn)樣器），不同品牌（Hamilton/boli….）以滿足不同客戶需求。提供各種規(guī)格（10-34#）以及不同材質(zhì)（不銹鋼/聚四氟乙烯/pp撓性針頭）以及特殊針頭（彎曲針頭），可用于常規(guī)接觸角測量，也可用于超疏水、超親水、高粘度等特殊液體的進(jìn)樣、液滴轉(zhuǎn)移等。
成像系統(tǒng)：作為標(biāo)準(zhǔn)配置CA-200采用了行曝光（Rolling Shutter）高分辨率CMOS圖像傳感器配合pomeas0.7-4.5遠(yuǎn)心輪廓鏡頭。保證優(yōu)良的成像效果。同時亮度連續(xù)數(shù)字可調(diào)的高強(qiáng)度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。
軟件平臺：軟件是整個測量系統(tǒng)的靈魂和大腦 。 CAPST V1.2.1軟件 為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性 。作為一光學(xué)方法，測量的精度取決于成像的質(zhì)量和后著的處理、分析和計算方法 。 其中采用的亞像素（ sub-pixel）液滴坐標(biāo)檢測 ，自動液 /固 /流 -三相接觸線識別 ， 液滴全輪廓分析 ，和基于連續(xù)信息反饋的液滴監(jiān)視功能等構(gòu)成了軟件的核心組件，而且這一切又都能實(shí)時完成。
1.usb2.0數(shù)字CCD攝像頭 1個 | 2.連續(xù)變倍光學(xué)系統(tǒng) 1個 |
3.手動加樣系統(tǒng) 1套 | 4.手動CCD傾斜系統(tǒng) 1套 |
5.表界面分析測量系統(tǒng)應(yīng)用軟件 1套 | 6.說明書紙質(zhì)一份及說明書電子版 1份 |
7.保修卡及合格證1份 | 8.親水進(jìn)樣針10個，疏水進(jìn)樣針10個 |
9.500ul進(jìn)樣器1個 | 10.電源線及數(shù)據(jù)線1條 |
11.XY專用水平儀1個 | 11.晶圓自動旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) 1套 |
物料名稱 | 數(shù)量 | 規(guī)格描述 |
主機(jī)框架 | 1 | 高強(qiáng)度進(jìn)口歐標(biāo)航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計 |
相機(jī) | 1 | USB2.0接口， SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS，分辨率H1280×V1024，幀率80fps |
鏡頭 | 1 | 對焦距離90mm |
光源 | 1 | 日本CCS工業(yè)級深度定制單波長LED輪廓冷光源，120個密集光源點(diǎn)，配合美國進(jìn)口柔光板與均光板，亮度連續(xù)可調(diào)，12V安全電壓 |
支撐腳 | 1 | 鋁合金+減震膠墊結(jié)構(gòu)，配合減震系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)機(jī)臺水平與防震效果 |
俯仰調(diào)整滑臺 | 1 | 螺桿控制，調(diào)整范圍±1° |
滴液驅(qū)動模塊 | 1 | 電機(jī)驅(qū)動，超細(xì)牙絲桿轉(zhuǎn)動，移動行程60mm， 導(dǎo)程1mm，重復(fù)定位精度±0.01μl |
滴液升降模塊 | 1 | 旋鈕驅(qū)動，絲桿轉(zhuǎn)動，重復(fù)定位精度±1mm |
樣品臺升降滑臺 | 1 | 齒輪齒條控制，移動行程30mm，分辨率0.1mm |
樣品臺平移滑臺 | 1 | 齒輪齒條控制，移動行程X30×Y50mm，分辨率0.1mm |
固定件和連接件 | 1 | AL6061鋁合金數(shù)控加工而成，表面烤漆處理 |
控制器 | 1 | 微機(jī)控制系統(tǒng)，發(fā)送指令控制滴液系統(tǒng) |
電氣控制單元 | 1 | 集成了包括電路、電位器、開關(guān)、電源等 |
測量軟件 | 1 | 包括接觸角測量、表面張力測量、表面能估算和潤濕性分析 |
微量進(jìn)樣器 | 1 | 500uL，分辨率0.001ul |
耗材 | 1 | 親水進(jìn)樣針，疏水進(jìn)樣針,500ul進(jìn)樣器 |
電腦（選配） | 1 | 如下配置 |
物料名稱 | 品牌 | 物料名稱 | 品牌 |
CPU | 英特爾i3處理器 | 鼠標(biāo)鍵盤 | 力拓 |
主板 | 英特爾H61主板 | 機(jī)箱 | 金和田 |
內(nèi)存 | 華碩8G DDR3 1600 | 電源 | 長城 |
硬盤 | 七彩虹 250G | 顯示器 | HUYINIUDA 19寸 |
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