MDPspot少子壽命測試儀

產品特點

低成本桌面單點測量硅片或晶磚，用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品，無需內置自動化。可選手動操作的z軸厚度高達156毫米的硅磚樣品，高達156毫米硅磚，結果可視化的標準軟件。

詳細介紹

產品介紹：

MDPspot W

包括一個額外的電阻率測量選項。測量硅電阻率，可用于沒有高度調節可能性的晶圓，或晶磚。必須預先定義這兩個選項中一個。

特點：        

◇  無接觸無破壞的電學半導體特性        

◇  包括μ-PCD測量選項        

◇  對迄今為止看不見的缺陷的可視化和外延層的研究具有優良的靈敏度        

◇  集成多達四個激光器，用于寬的注入水平范圍

◇  獲取單次瞬變的原始數據以及用于特殊評估目的的地圖         

技術規格:   

MDPspot 應用：

鐵濃度測定

鐵的濃度的精確測定是非常重要的，因為鐵是硅中豐富也是有害的缺陷之一。因此，有必要盡可能準確和快速地測量鐵濃度，具有非常高的分辨率且**是在線的

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摻雜樣品的光電導率測量

B和P的摻雜在微電子工業中有許多應用，但到目前為止，沒有方法可以在不接觸樣品和由于必要的退火步驟而改變其性質的情況下檢查這些摻雜的均勻性。迄今為止的困難……

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陷阱濃度測定

陷阱中心是非常重要的，為了了解材料中載流子的行為，也可以對太陽能電池產生影響。因此，需要以高分辨率測量這些陷阱中心的陷阱密度和活化能。

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注入相關測量

少數載流子壽命強烈依賴于注入(過剩余載流子濃度)。從壽命曲線的形狀和高度可以推斷出摻雜復合中心和俘獲中心的信息。

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優點：        

◇  臺式裝置，用于載流子壽命的單點測量，多晶硅或單晶硅在不同的制備階段，從原生材料到器件。        

◇  體積小，成本低，使用方便。附帶一個基本的軟件，用于在小型PC或筆記本上進行結果可視化。        

◇  適用于硅片到磚，操作高度調節方便。

細節：        

◇  允許單晶圓片調查        

◇  不同的晶圓級有不同的配方        

◇  監控物料、工藝質量和穩定性      

附加選項：

◇  光斑大小變化

◇  電阻率測量(晶片)

◇  背景/偏置光

◇  反射測量(MDP)

◇  軟件擴展

◇  額外的激光器選配