金屬薄膜方阻，方塊電阻又稱膜電阻，是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測量值，該數值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無關，其單位為Siements/sq，后增加歐姆/sq表征方式，該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻，用于膜層測量又稱為膜層電阻。蒸發鋁膜、導電漆膜、印制電路板銅箔膜等薄膜狀導電材料，衡量它們厚度的最好方法就是測試它們的方阻。什么是方阻呢？方阻就是方塊電阻，指一個正方形的薄膜導電材料邊到邊“之”間的電阻，如圖一所示，即B邊到C邊的電阻值。方塊電阻又稱膜電阻，是用于間接表征薄膜膜層、玻璃鍍膜膜層等樣品上的真空鍍膜的熱紅外性能的測量值，該數值大小可直接換算為熱紅外輻射率。方塊電阻的大小與樣品尺寸無關，其單位為Siements/sq，后增加歐姆/sq表征方式，該單位直接翻譯為方塊電阻或者面電阻，用于膜層測量又稱為膜層電阻。
產品描述：
金屬薄膜方阻測試儀主要利用結光電壓技術非接觸測試具有P/N或N/P結構的樣品的方阻(發射極薄層方阻）。
特點：
非接觸，非損傷測試，測試速度快，重復性佳，可直接測試產品片。
金屬薄膜方阻測試儀技術參數：
| 探頭量程 | 10-500Ω/sq | ||
| 探頭性能 | 動態重復性 | 靜態重復性 | 示值誤差 |
| 測試條件：采樣率50SPS（20ms），20個點/每次 | |||
| 10-50Ω/sq<2% | <0.5% | ≤±3% | |
| 50-200Ω/sq<1% | <0.2% | ≤±3% | |
| 200-500Ω/sq<0.6% | <0.15% | ≤±3% | |
| 外形尺寸 | 探頭：60mm×30mm×83mm(L×W×H) | ||
| 控制盒：173×130×55mm | |||
| 信號采集 | 采樣率：**500SPS | ||
| 數據接口：RS232 RS485 CAN TCP/IP | |||
| 傳輸協議：ModbusRtu/ModbusTcp、用戶自定義SOCKET協議等 | |||
JPV測試數據
實驗數據—相關性
實驗數據—重復性和準確性
樣片1 | 樣片2 | 樣片3 | 樣片4 | |||||||||
四探針 | SemiLab | 九域 | 四探針 | SemiLab | 九域 | 四探針 | SemiLab | 九域 | 四探針 | SemiLab | 九域 | |
1 | 98.5 | 99.51 | 98.11 | 106.1 | 105.77 | 105.65 | 131.2 | 131.82 | 131.84 | 146.6 | 148.52 | 147.32 |
2 | 98.6 | 99.84 | 98.1 | 105.4 | 105.96 | 105.63 | 130.1 | 131.55 | 131.99 | 148.2 | 148.81 | 147.23 |
3 | 98.9 | 99.68 | 97.99 | 106.8 | 105.98 | 105.78 | 132.5 | 131.57 | 131.94 | 148 | 148.85 | 147.18 |
4 | 99 | 98.78 | 97.98 | 106.7 | 106.54 | 105.78 | 132.4 | 131.86 | 131.97 | 146.9 | 148.78 | 147.14 |
5 | 98.6 | 98.75 | 97.99 | 105.8 | 105.21 | 105.84 | 131.8 | 131.85 | 131.78 | 145.5 | 148.86 | 147.39 |
6 | 98.3 | 98.56 | 97.92 | 106.8 | 105.11 | 105.79 | 132.8 | 131.89 | 131.86 | 146.5 | 148.26 | 147.32 |
7 | 98 | 98.57 | 97.92 | 105.7 | 105.78 | 105.81 | 131.7 | 131.54 | 131.7 | 148.5 | 148.19 | 147.26 |
8 | 98.2 | 98.79 | 98.06 | 105.3 | 105.95 | 105.76 | 131.1 | 132.66 | 131.81 | 148.6 | 148.21 | 147.15 |
9 | 97.6 | 98.69 | 97.82 | 105.5 | 105.76 | 105.76 | 131.4 | 132.05 | 131.76 | 147.4 | 148.51 | 147.28 |
10 | 98.6 | 99.13 | 97.92 | 106.2 | 106.14 | 105.82 | 130.8 | 132.29 | 131.73 | 148.1 | 148.15 | 147.09 |
Ave | 98.43 | 99.03 | 97.98 | 106.03 | 105.82 | 105.76 | 131.58 | 131.91 | 131.84 | 147.4 | 148.51 | 147.23 |
Rsd | 0.43% | 0.48% | 0.09% | 0.55% | 0.39% | 0.07% | 0.63% | 0.27% | 0.08% | 0.69% | 0.20% | 0.06% |
% | 0.61% | -0.46% | -0.20% | -0.25% | 0.25% | 0.20% | 0.82% | -0.15% | ||||
說明：
1、四探針重復性較差，探針頭容易出問題導致測試偏差很大
2、Semilab重復性和九域重復性偏差不大
3、準確度偏差都保證在一定的范圍之內
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