產品名稱： SENS4真空計VPM-17 TriCAP

產品型號： VPM-17 TriCAP

產品介紹： VPM-17 TriCAP ATM 傳感器為廣泛的真空應用建立了一體化測量解決方案的新標準。與其他真空計不同的是，它結合皮拉尼熱損耗測量（低至 1E-6 mbar），提供從 5.0E-3 到 1333 mbar 的高性價比氣體獨立測量。在氣體成分或類型可能發生變化的真空應用中，傳統的依賴氣體的皮拉尼真空計會導致測量結果與實際壓力產生偏差。然而，TriCAP ATM 傳感器采用了電容式膜片真空計 (CDG) 傳感器，由于不依賴于氣體成分，因此即使氣體性質發生變化，也能確保測量精度。集成的熱損耗 MEMS Pirani 傳感器將測量范圍擴展至 1E-6 mbar，并提供新穎的電容式壓力計自動調零功能，從而減免了傳統電容式膜片真空計手動調零的常見需求。TriCAP ATM 是一款新型多傳感器真空計，是傳統皮拉尼真空計應用的性能升級之選，也是在單獨使用電容式壓力計和皮拉尼真空計的應用中成本優化的一體化解決方案。（文件）

SENS4真空計VPM-17 TriCAP 性能特點： 

測量范圍為 1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

與氣體無關的傳感器，測量范圍從 5×10^-3 到 1333 mbar

超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳感器

堅固耐用的陶瓷電容隔膜真空計   

環境壓力參考輸出信號

大氣開關功能

可安裝在任何方向而不影響性能

可編程電壓輸出信號，可與其他供應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真空過程控制的三個固態設定點

可直接替換 MKS 901P Loadlock 傳感器

緊湊型多傳感器解決方案

選型指南： （圖）

產品結構與細節： （圖）

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 通用

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器 2 共用

12 繼電器 2 NO（常開觸點）

13 繼電器 3 NC（常閉觸點）

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 NO（常開觸點）

可選功能與配件： 

編程設備

RS-232 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485

校準證書

DAkkS 實驗室認可的校準證書。cal-vpm17-dakss

電纜

15 針 HD D-sub 母頭至 15 針 D-sub 公頭，帶 3 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-003

15 針 HD D-sub 母頭轉 15 針 D-sub 公頭，帶 5 米電纜 CAB-F15DSM15DS-005

15 針 HD D-sub 母頭轉 15 針 D-sub 公頭，帶 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105

技術參數： 

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼熱導率

測量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼/CDG 混合讀數

測量原理 5.0×10-3 至 3.99 mbar：電容式隔膜真空計 (CDG)

測量原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 壓電/CDG

測量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mbar：讀數的 5 %

精度 1E-2 至 800 mbar：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數的 0.5 %

氣壓測量范圍：300 至 1200 mbar

氣壓精度：+/- 0.5 mbar

大氣參考壓力輸出范圍：-1333 至 + 1333 mbar

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度傳感器精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響應時間：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固態繼電器設定點范圍（相對大氣壓）：-1,100 至 + 500 mbar（-770 至 +375 托）

固態繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器觸點耐久性：無限制（無機械磨損）

固態繼電器認證：UL 認可： 文件 E76270；CSA 認證： 證書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證

工作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環境溫度：-20 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質壓力：4 bar壓力_Abs

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱恢復）

外殼：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（介質潤濕）：SS 1.4307 / AISI 304L

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

符合認證CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

產品尺寸： （圖）

產品應用： 

PVD 涂層、凍干終點檢測、負載鎖定控制、熔爐熱處理、皮拉尼校準、質譜儀、掃描電子顯微鏡