NIE-4000 IBE離子束刻蝕機

具體成交價以合同協議為準

產品標簽

離子束刻蝕機 ibe刻蝕離子束刻蝕 ibe離子束刻蝕 ibe離子束刻蝕機

在線交流發送詢價進入商鋪同類產品

聯系方式：吳運祥18916157635 查看聯系方式

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!

公司介紹 主營產品

那諾中國有限公司專注于為大中華區域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業研發與生產等企業機構提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設備及科學分析檢測儀器。

那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等）。

那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質譜儀，包含飛行時間二次離子質譜儀（TOF-SIMS）、質子轉移反應（PTR）質譜儀、電子轟擊電離（EI）質譜儀等。

展開

ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質譜儀（TOF-SIMS）

產地類別	進口	應用領域	醫療衛生,化工,生物產業,電子,制藥

NIE-4000 IBE離子束刻蝕機概述：

如銅和金等金屬不含揮發性化合物，這些金屬的刻蝕無法在RIE系統中完成。然而通過加速的Ar離子進行物理刻蝕則是可能的。樣品表面通常采用厚膠作為掩模，刻蝕期間富有能量的離子流會使得基片和光刻膠過熱。NANO-MASTER技術可以把基片溫度控制在50℃以內，以便消除熱量及后續的光刻膠剝離，同時支持

晶圓旋轉以達到想要的均勻度。

該系統為計算機全自動實現工藝控制的緊湊型獨立的立柜式離子束刻蝕系統，具有結構緊湊、功能強大、自動化程度高、模塊化設計易于維護、低成本的優勢。

NIE-4000 IBE離子束刻蝕機特點：