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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>其它薄膜沉積設備>KaRoll RTR1C 卷對卷薄膜濺射系統

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KaRoll RTR1C 卷對卷薄膜濺射系統

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述:

KaRoll RTR1C 是一種先進的卷對卷薄膜濺射系統,主要用于在柔性基底材料上連續地進行薄膜濺射沉積。它能夠將各種金屬、合金或化合物材料以精確的厚度和均勻性沉積在卷狀的基底上,如聚合物薄膜、金屬箔等。該系統通常由放卷裝置、收卷裝置、真空腔室、濺射源、鍍膜控制系統等部分組成。在真空環境下,通過濺射源產生的高能粒子撞擊靶材,使靶材原子濺射出來并沉積在移動的基底上,從而形成連續的薄膜。

 

2. 設備應用

· 電子領域:可用于制造柔性電子器件,如柔性顯示屏的電極、電路等。例如在可折疊手機的屏幕制造中,通過該系統濺射導電薄膜,實現屏幕的導電和信號傳輸功能。

· 太陽能領域:用于制備柔性太陽能電池的薄膜電極或光吸收層等。有助于提高太陽能電池的光電轉換效率和柔韌性,使其更適用于不同的應用場景,如便攜式太陽能充電設備、太陽能屋頂等。

· 光學領域:可以生產光學薄膜,如增透膜、反射膜等,應用于柔性光學元件、可穿戴光學設備等。比如在智能眼鏡的鏡片上鍍制特定的光學薄膜,改善其光學性能。

· 包裝領域:為一些特殊的包裝材料提供功能性的薄膜涂層,如阻隔膜、防靜電膜等,提升包裝材料的性能和附加值。例如在食品包裝中,使用該系統鍍制阻隔膜,提高包裝對氧氣、水分等的阻隔性能,延長食品的保質期。

3. 設備特點

· 高精度鍍膜:具備精確的鍍膜控制技術,能夠實現薄膜厚度的高精度控制,保證薄膜性能的一致性和穩定性。例如,可將薄膜厚度的誤差控制在極小范圍內,滿足對薄膜厚度精度要求較高的應用場景。

· 高生產效率:卷對卷的連續生產方式,大大提高了生產效率,能夠實現大規模的快速鍍膜生產。與傳統的間歇式鍍膜方式相比,在相同時間內可以處理更多的基底材料,降低生產成本。

· 良好的膜層均勻性:通過優化的濺射源設計和先進的鍍膜工藝,確保在整個基底寬度和長度方向上都能獲得均勻的薄膜沉積。這對于需要大面積均勻薄膜的應用非常重要,如大面積的柔性顯示屏或太陽能電池板。

· 適用于多種材料:可以濺射多種不同的材料,包括常見的金屬(如銅、鋁、銀等)、合金以及一些化合物材料,滿足不同應用對薄膜材料的需求。能夠根據客戶的具體要求,選擇合適的靶材進行鍍膜,提供多樣化的薄膜性能。

· 靈活的工藝參數調節:允許用戶根據不同的產品需求,靈活地調整鍍膜工藝參數,如濺射功率、沉積速率、基底移動速度等。這使得設備能夠適應不同類型的基底材料和薄膜應用,為研發和生產提供了更大的靈活性。

· 可靠的真空系統:擁有高性能的真空系統,確保在鍍膜過程中維持穩定的高真空環境,減少雜質和氣體對薄膜質量的影響。可靠的真空系統有助于提高薄膜的純度和質量,降低薄膜中的缺陷密度。

 

4. 產品參數(部分為例

以下參數僅供參考,實際參數可能因定制化需求和設備型號而有所不同。

· 基底寬度:常見的基底寬度可能在 100 毫米到 1000 毫米之間,具體取決于設備型號和應用需求。

· 最大卷徑:例如,最大卷徑可能達到 500 毫米或更大,以適應不同規模的卷狀基底材料。

· 濺射源數量和類型:可能配備多個濺射源,如直流濺射源、射頻濺射源等,數量可能為 2 - 8 個不等,具體根據鍍膜工藝和產能要求確定。

· 鍍膜速度:鍍膜速度根據不同的材料和工藝要求有所變化,一般在每分鐘幾米到幾十米的范圍內。

· 真空度:能夠達到較高的真空度,如 10^-3 帕或更高,以保證濺射過程的順利進行和薄膜質量。

· 設備尺寸:設備的外形尺寸根據其設計和產能有所不同,例如長度可能在 3 - 10 米,寬度在 1.5 - 3 米,高度在 2 - 3 米。

· 電源要求:通常需要三相交流電,電壓如 380V,頻率 50Hz,整機額定功率根據設備配置而定,可能在 20 - 100kW 之間。

 




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