KaRoll RTR1C 卷對卷薄膜濺射系統
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 韓國真空/IOKOVA
- 型號 KaRoll RTR1C
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2024/9/5 15:10:21
- 訪問次數 223
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1. 產品概述:
KaRoll RTR1C 是一種先進的卷對卷薄膜濺射系統,主要用于在柔性基底材料上連續地進行薄膜濺射沉積。它能夠將各種金屬、合金或化合物材料以精確的厚度和均勻性沉積在卷狀的基底上,如聚合物薄膜、金屬箔等。該系統通常由放卷裝置、收卷裝置、真空腔室、濺射源、鍍膜控制系統等部分組成。在真空環境下,通過濺射源產生的高能粒子撞擊靶材,使靶材原子濺射出來并沉積在移動的基底上,從而形成連續的薄膜。
2. 設備應用:
· 電子領域:可用于制造柔性電子器件,如柔性顯示屏的電極、電路等。例如在可折疊手機的屏幕制造中,通過該系統濺射導電薄膜,實現屏幕的導電和信號傳輸功能。
· 太陽能領域:用于制備柔性太陽能電池的薄膜電極或光吸收層等。有助于提高太陽能電池的光電轉換效率和柔韌性,使其更適用于不同的應用場景,如便攜式太陽能充電設備、太陽能屋頂等。
· 光學領域:可以生產光學薄膜,如增透膜、反射膜等,應用于柔性光學元件、可穿戴光學設備等。比如在智能眼鏡的鏡片上鍍制特定的光學薄膜,改善其光學性能。
· 包裝領域:為一些特殊的包裝材料提供功能性的薄膜涂層,如阻隔膜、防靜電膜等,提升包裝材料的性能和附加值。例如在食品包裝中,使用該系統鍍制阻隔膜,提高包裝對氧氣、水分等的阻隔性能,延長食品的保質期。
3. 設備特點:
· 高精度鍍膜:具備精確的鍍膜控制技術,能夠實現薄膜厚度的高精度控制,保證薄膜性能的一致性和穩定性。例如,可將薄膜厚度的誤差控制在極小范圍內,滿足對薄膜厚度精度要求較高的應用場景。
· 高生產效率:卷對卷的連續生產方式,大大提高了生產效率,能夠實現大規模的快速鍍膜生產。與傳統的間歇式鍍膜方式相比,在相同時間內可以處理更多的基底材料,降低生產成本。
· 良好的膜層均勻性:通過優化的濺射源設計和先進的鍍膜工藝,確保在整個基底寬度和長度方向上都能獲得均勻的薄膜沉積。這對于需要大面積均勻薄膜的應用非常重要,如大面積的柔性顯示屏或太陽能電池板。
· 適用于多種材料:可以濺射多種不同的材料,包括常見的金屬(如銅、鋁、銀等)、合金以及一些化合物材料,滿足不同應用對薄膜材料的需求。能夠根據客戶的具體要求,選擇合適的靶材進行鍍膜,提供多樣化的薄膜性能。
· 靈活的工藝參數調節:允許用戶根據不同的產品需求,靈活地調整鍍膜工藝參數,如濺射功率、沉積速率、基底移動速度等。這使得設備能夠適應不同類型的基底材料和薄膜應用,為研發和生產提供了更大的靈活性。
· 可靠的真空系統:擁有高性能的真空系統,確保在鍍膜過程中維持穩定的高真空環境,減少雜質和氣體對薄膜質量的影響。可靠的真空系統有助于提高薄膜的純度和質量,降低薄膜中的缺陷密度。
4. 產品參數(以部分為例):
以下參數僅供參考,實際參數可能因定制化需求和設備型號而有所不同。
· 基底寬度:常見的基底寬度可能在 100 毫米到 1000 毫米之間,具體取決于設備型號和應用需求。
· 最大卷徑:例如,最大卷徑可能達到 500 毫米或更大,以適應不同規模的卷狀基底材料。
· 濺射源數量和類型:可能配備多個濺射源,如直流濺射源、射頻濺射源等,數量可能為 2 - 8 個不等,具體根據鍍膜工藝和產能要求確定。
· 鍍膜速度:鍍膜速度根據不同的材料和工藝要求有所變化,一般在每分鐘幾米到幾十米的范圍內。
· 真空度:能夠達到較高的真空度,如 10^-3 帕或更高,以保證濺射過程的順利進行和薄膜質量。
· 設備尺寸:設備的外形尺寸根據其設計和產能有所不同,例如長度可能在 3 - 10 米,寬度在 1.5 - 3 米,高度在 2 - 3 米。
· 電源要求:通常需要三相交流電,電壓如 380V,頻率 50Hz,整機額定功率根據設備配置而定,可能在 20 - 100kW 之間。