1. 基本參數(shù)

適用晶圓尺寸:100mm(4") ~ 300mm(12")

配置:輸入噴淋清洗，兩個雙面刷清洗和旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)

清洗機尺寸:1610w 1260d 1640hmm電刷尺寸:070(外徑)031(內(nèi)徑)170(長)毫米

預清洗工位:DIW噴霧清洗，工位間DIW帷幕清洗

輥刷工位

化學：nh4oh或DIW

刷頭型式:PVA刷頭，可同時清洗晶圓片的正反面

刷位調(diào)節(jié):手動控制(可用刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)

轉(zhuǎn)速:<滿量程的±5%范圍30 ~ 400rpm

化學品供應(yīng):4個噴嘴和通過毛刷

可用化學品:2個化學品[NH4OH]

化學和DI流量:<滿量程的±5%。

轉(zhuǎn)站

選項:超高速掃描

旋轉(zhuǎn)速度:最高2500轉(zhuǎn)/分DI漂洗/ N2吹

控制工藝流程:手動加載，自動順序，濕/干液晶觸摸屏顯示器，程序控制PLC式。