1. 產品概述

屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統是在 GENxplor 的基礎上進行的擴展，GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統，與 GENxplor 系統的 3“ 功能相比，在單個 4 英寸襯底上具有高質量的外延生長。GENxcel 系統具有易于使用的手動傳輸系統、12 個源端口和集成到單框架設計中的現代電子設備，可實現大的實驗室占地面積效率。

在直徑達 4 英寸的襯底上實現高質量外延層

單幀架構提高了易用性，提供了便捷的源訪問和增強的可服務性

高效的一體化設計將手動系統與機載電子設備相結合，與其他 MBE 系統相比，可節省 40% 的實驗室空間

非常適合對各種材料進行沿研究，包括砷化鎵、氮化物和氧化物

Molly® 軟件集成了簡單的配方編寫、自動生長控制和始終在線的數據記錄

可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器，可在 1850° 下提供經過驗證的性能

可直接擴展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統