1. 規(guī)格

拋光機(jī)部分機(jī)頭，工作臺(tái):30- 200rpm，旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，機(jī)頭振蕩(±15mm)

拋光機(jī)尺寸:寬1626 *寬1500 *高1950毫米

重量:約2500公斤壓板尺寸:Φ 762毫米(30英寸)，特氟龍涂層鋁

壓制方式:可變空氣

壓力電子控制器膜類型:70-350克/平方厘米(1 psi~5 psi)的12"晶圓片

CMP制程:Si CMP、氧化物CMP(BPSG、TEOS、SC)、金屬CMP(W、Cu)、STI、PGI等

2. 可添加選項(xiàng)

墊式調(diào)理方法:擺頭式或擺臂式

單頭或雙頭系統(tǒng)

摩擦力和溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)

3. 清潔

清洗機(jī)尺寸:w3050 / d1250 / h1960毫米

重量:約1200公斤電刷尺寸:270(外徑)032(內(nèi)徑)320(長(zhǎng))毫米

配置:獨(dú)立配置4個(gè)清洗工位，DIW刀預(yù)清洗，2個(gè)雙面滾刷清洗，N2吹旋漂干

預(yù)清洗工位:DIW噴霧清洗，工位間DIW帷幕清洗

輥刷工位

化學(xué)：nh4oh（<1%）或DIW

刷型:雙面PVA刷

轉(zhuǎn)速:<滿量程的±2%范圍30~300rpm

化學(xué)品供應(yīng):4個(gè)噴嘴和通過(guò)刷子

可用化學(xué):4化學(xué)

化學(xué)品流量:滿量程< 1l /min

DI流量:滿量程< 10l /min

轉(zhuǎn)站

旋轉(zhuǎn)速度:高2500轉(zhuǎn)/分

DIW沖洗/ N2吹(可選:強(qiáng)掃)

控制

工藝:自動(dòng)上片，自動(dòng)順序，濕進(jìn)/干出

程序控制:PC &觸摸屏監(jiān)控，程序可編程，計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可比