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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>化學機械拋光機(CMP)>TAP-400/600/450A/500 精密研磨拋光機

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TAP-400/600/450A/500 精密研磨拋光機

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晶圓拋光

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.  產品概述:

精密研磨拋光機是一種專門用于對高精度零件表面進行加工處理的機器設備。它集成了電機、磨頭、工作臺、液壓系統、氣動系統和控制系統等多個關鍵組件,能夠實現對零件表面高質量的磨削、拋光和刻蝕,從而達到非常高的平整度、光潔度和精度要求。這種設備廣泛應用于環境科學技術、資源科學技術、機械工程、動力與電氣工程、電子與通信技術以及航空、航天科學技術等多個領域。

2 設備用途/原理:

  1. 表面加工:精密研磨拋光機主要用于去除材料表面的不平整、毛刺、氧化皮等缺陷,使表面更加平滑,達到所需的光澤和精度要求。

  2. 材料處理:適用于各種金屬、陶瓷、晶體玻璃、石英類產品等材料圓柱體的研磨與拋光,以及PCB板、光學材料(如硫化鋅、硅等晶體)、耐火材料、復合材料等材料的研磨拋光制樣。

  3. 形狀和尺寸修整:通過去除材料表面的一部分,可以修整其形狀和尺寸,滿足特定的加工需求。

  4. 科學研究與生產實驗:作為科學研究、生產實驗中理想的磨拋設備之一,精密研磨拋光機在多個領域發揮著重要作用。

3  設備特點

1 高精度:精密研磨拋光機能夠控制研磨后的圓柱度在極小的范圍內(如0.0005mm以內),確保加工件的高精度。

2 多功能性:適用于多種材料的研磨拋光,具有廣泛的適用性。

3 自動化控制:整個加工過程可以通過控制系統進行自動化控制和監測,以提高加工質量和效率。

4 人性化設計:部分型號如OPT-380自動精密研磨拋光機,具備快速拆裝擺臂、無級調速控制、定時功能、散熱系統以及簡易操作界面等特點,便于操作和維護。
       5 高效性:采用先進的加工技術和設備設計,能夠在短時間內完成高質量的研磨拋光工作。

綜上所述,精密研磨拋光機以其高精度、多功能性、自動化控制、人性化設計和高效性等特點,在多個領域發揮著重要作用,是現代制造業中的重要設備之一。
4  設備參數

規格/型號

TAP-400

TAP-500

TAP-450A

TAP-600

拋光盤規格

OD400mm

OD520mm

OD450mm

OD630mm

拋光頭數量

2

2

2

2

拋光盤轉速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

拋光頭轉速

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

0~90 RPM

拋光頭壓力

10~100kgf可調

10~100kgf可調

10~100kgf可調

10~150kgf可調

拋光頭擺動

擺幅擺速可調

擺幅擺速可調

擺幅擺速可調

擺幅擺速可調

半自動上下片

可選配

可選配

可選配

拋光頭規格

Max6寸載片

Max6寸鐵環

Max6寸載片/4寸鐵環

Max8寸鐵環




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