PSEM系列 室溫電磁鐵探針臺
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海柯舜科技有限公司
- 品牌 上海柯舜
- 型號 PSEM系列
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/7/24 17:24:41
- 訪問次數 71
產品標簽
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室溫電磁鐵探針臺不僅可以完成永磁鐵探針臺所能完成的測試，并且可以為樣品測試提供一個可變磁場，磁場較強，磁場均勻區較大。此款探針臺專門為在測量過程中需要連續磁場變化的實驗設計，在室溫下對芯片、晶圓和器件進行非破壞測試。
PSEM系列室溫電磁體探針臺是一款專門針對室溫可變磁場電測環境開發的探針臺，提供±0.6T垂直磁場或±0.3T水平磁場，能夠對2寸、4寸晶圓片進行重復性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。
特點
• 樣品座可以放置4英寸的晶圓樣品，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現X-Y軸±50mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細調節，使得樣品測試和換樣 更加便捷。
• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調節，配合樣品座位移調節，可滿足探針快速扎到4英寸樣品的任意位置（探針臂可安裝6個，水平磁場電磁鐵探針臺可安裝4個）
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內，探針臂內置線纜，避免雜亂的走線
• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電
• 電磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上
• 樣品固定方式采用多孔分區吸附，有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品
• CCD放大倍數為180倍，工作距離為100mm
型號分類：
| 型號 | PSEM-2H(水平磁場) | PSEM-2V(垂直磁場) | PSEM-4V(垂直磁場) |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 2英寸 | 4英寸 |
參數和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4英寸，可定制 |
| 材質： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區吸附有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺 | |
| X-Y移動行程： | 2/4寸:±50mm（水平磁場探針臺無滑臺） |
| 移動精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| X-Y-Z移動行程： | X-13mm，Y-13mm，Z-13mm |
| 旋轉度： | 360度自由旋轉 |
| 移動精度： | 10μm |
| 探針臂數量： | 垂直磁場電磁鐵探針臺可安裝6個；水平磁場探針臺可安裝4個 |
| 電學線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學系統 | |
| 顯微鏡放大倍數： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| CCD相機分辨率： | 3800萬像素 |
| 電磁鐵組件（垂直磁場） | |
| 磁鐵型號： | EM-60V |
| 磁場大小： | ±0.6T |
| 磁鐵間距： | 30mm |
| 極柱： | 直徑60mm，標配一副50mm純鐵極頭 |
| 循環水冷卻 | |
| 電磁鐵組件（水平磁場） | |
| 磁鐵型號： | EM-30H |
| 磁場大小： | ±0.3T |
| 磁鐵間距： | 60mm |
| 極柱： | 標配一副60mm純鐵極頭 |
| 循環水冷卻 | |
| 可加選件 | |
| 光學平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
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