日本MIKASA小型高性能旋涂機涂布機潔凈室用 MS-B100 / MS-B150 特點介紹

產品采用AC伺服電機且無刷，因此在防止潔凈室污染方面具有出色的性能，并且減少電機的發熱以防止連續使用時的溫度升高。膜厚再現性也較低。

日本MIKASA小型高性能旋涂機涂布機潔凈室用 MS-B100 / MS-B150規格參數

MS-B100

最大板尺寸 φ4英寸晶圓或75×75mm基板 

轉速（轉/分） 20～8,000 

旋轉精度 ±1rpm（負載時） 

發動機 交流伺服電機 

蓋 丙烯酸纖維 

紡絲室直徑 φ220mm 

步進模式數量 100 步 x 10 種模式 

時間設置 999.9秒 

安全聯鎖裝置 真空標準設備

蓋子可選 

滴水裝置 無法安裝 

使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa 

電源 AC100~240V 5A 

外形尺寸（毫米） 259寬×246高×330深 

重量 10公斤 

MS-B150

最大板尺寸 φ6英寸晶圓或100×100mm基板 

轉速（轉/分） 20～7,000 

旋轉精度 ±1rpm（負載時） 

發動機 交流伺服電機 

蓋 丙烯酸纖維 

紡絲室直徑 φ290mm 

步進模式數量 100 步 x 10 種模式 

時間設置 999.9秒 

安全聯鎖裝置 真空標準設備

蓋子可選 

滴水裝置 選項 

使用真空壓力 -0.08～-0.1MPa 

電源 AC100~240V 5A 

外形尺寸（毫米） 352寬×303高×432深 

重量 16公斤