美國Entegris高性能液體濃度計化學機械拋光 Entegris CR288型 特點介紹

折反射方法提供的準確性和響應時間

低成本、高性能濃度計使您能夠監控 BEOL、FEOL 和子晶圓廠中的化學配方和輸送系統，以提高工藝效率。  

隨附的 288 Connect 軟件可在幾分鐘內完成現場校準，從而降低擁有成本

緊湊的設計允許在化學管道中在線安裝

利用Inview CR288液體濃度計的在線實時折射率測量技術，可以在以下測量點（最多4個位置）監測化學溶液。

清潔 BEOL 和 FEOL

化學機械拋光

電鍍

光刻法等

美國Entegris高性能液體濃度計化學機械拋光 Entegris CR288型 規格參數

傳感器部分： 流通池 改性聚四氟乙烯* 

濕透的窗戶 半導體級藍寶石* 

電纜連接器 聚丙烯/聚偏氟乙烯  

引擎蓋 聚丙烯 

安裝板 聚偏氟乙烯 

傳感器使用條件： 流體壓力 0 - 0.55 兆帕 

流體溫度 5°C - 50°C 

流體折射角 1.28000 至 1.40000 ** 

直達： 電源 24 VDC (± 5%), 0.5 A 或以上 

電源（使用適配器時） 110/240VAC，50/60±3Hz 

串行端口 RS-232 

模擬輸出 4 - 20 mA（溫度和濃度），每個 DDU 最多 4 個傳感器