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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>其它半導體設備>TMS-2000 其他設備晶圓測試儀

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TMS-2000 其他設備晶圓測試儀

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深圳市嘉惠捷科技有限公司基于對國內測試儀器市場具體需求狀況和、國內儀器行業發展趨勢的掌握,依托國外穩定的貨源渠道。專注于國內電子測試儀器、通信儀器、微波儀器、高頻儀器、光纖通信儀器等進口二手測試儀器的銷售、租賃、回收、維修、校正等業務。
公司現貨供應惠普(安捷倫)、泰克、安立、愛得萬、橫河、安騰、力科、馬可尼(IFR)、R&S等世界之頻譜分析儀、網絡分析儀、無線綜合測試儀、邏輯分析儀、阻抗分析儀、信號源、信號發生器、信號分析儀、中高檔示波器、頻率計、電子與負載等電子通用測試儀器及誤碼儀、眼圖儀、光譜分析儀、光時域反射儀(OTDR)、可調諧激光源、光功率計、光衰減器等光纖通信儀器。 儀器品種繁多,并可提供計量合格證書及壹年保修、終身維護的售后服務。
我公司大量回收閑置二手儀器儀表設備,全部現款交易;對外承接高檔測試儀器儀表的維修和校正服務。
經營范圍:二手測試儀器的銷售、租賃、維修、檢測。銷售、維修系列環境實驗設備。銷售全新系列品牌測試儀器。



網絡分析儀、無線綜合測試儀、邏輯分析儀、阻抗分析儀、信號源、信號發生器、信號分析儀、中高檔示波器

價格區間 50萬-80萬 應用領域 電子,綜合

圣德科 TMS-2000 晶圓測試儀

產品概述:
Santec 的新系統 TMS-2000 為半導體晶圓厚度的高精度亞納米映射帶來了新的動態。TMS-2000 采用一種新型激光掃描方法,以前從未在業界用于晶圓映射,為行業提供了多項優勢;對溫度變化不敏感的精確厚度測量,一個系統不僅可以測量單層硅,還可以測量碳化硅和氮化鎵等功率半導體,以及SOI等多層晶圓,其成本點對于在生產中的廣泛部署具有吸引力。隨著半導體器件尺寸的減小,光刻工藝的公差變得更細,提高了晶圓厚度和場地平面度測量的高精度的重要性。對于非接觸式亞納米重復性測量,業界一直依賴外差干涉或Fizeau條紋分析系統,這些系統在普遍采用方面存在一些缺點。這些目前的解決方案需要正面和背面晶圓照明,對溫度變化和振動敏感,并且復雜性和成本高。Santec TMS-2000 解決了當前解決方案中發現的所有問題。
 
特征:
精度高:使用干涉檢測技術進行高精度測量(1nm重復精度)
行業標準參數:可以分析全局(GFLR、GFLD、GBIR)、站點(SFQR、SFQD、SBIR)、邊緣(ESFQR)
高耐環境性:由于環境耐久性,不需要溫度控制或振動對策
緊湊的尺寸:小尺寸,適合多種應用
高速:螺旋掃描(高速、高密度)
 
優勢:
晶圓厚度測量系統,可測量晶圓的平整度,重復精度高達1nm。
測量準確,對溫度變化和振動不敏感
亞納米厚度重復性
具有可定制掃描圖案的完整晶圓映射
單面照明
晶圓與晶圓之間的比較
適用于重摻雜硅以及功率半導體和多層晶圓
測量符合SEMI標準
與傳統解決方案相比,具有成本優勢




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