3軸加速度在線振動傳感器

3軸加速度在線振動傳感器

3軸加速度傳感器引線型

半導體晶片生產中使用的多關節機器人的振動監視開發·面向品質管理的事例介紹

生產半導體晶片時，必須使用多關節機器人進行生產。

在這種情況下，機器人搬運時給產品帶來的異常沖擊會導致產品質量劣化，因此是一個很大的課題。

因此，本公司產品的“3軸加速度傳感器MA3系列”可以檢測到發生了異常的沖擊，因此有組裝到機器人中使用的例子。

“3軸加速度傳感器MA3系列”通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導入PLC，設置閾值進行判定。

根據判定結果通知異常，根據情況也可以停止設備。

“3軸加速度傳感器MA3系列”有通用型和高頻型兩種，可以根據產生的加速度的頻帶選擇。

另外，根據發生的加速度的大小，也可以選擇測量范圍。

設備狀態監測的最佳一臺建議！

支持高G、高頻的3軸加速度傳感器

不需要內置放大器工程，連接也很簡單。

國內生產、高品質、公司內部校正品質支持體制完備。

沖壓機發生異常時自動停止，防止模具破損和成品率下降

拾音器的對應幅度很豐富。沖壓機的高G高頻的沖擊也能測量。

不僅是加工裝置的異常發生，還進行原因的確定，提高成品率、生產效率

通過對加速度的測量數據進行頻率分析等，確定發生異常預兆的部件。

將切削加工裝置與其他公司制造的PLC（序列發生器）連接，也可以進行導入成本低的異常監視

因為是內置放大器，所以只需直接連接已經導入的PLC就可以測量。

※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範囲になります。

※2 ±3dBにて規定

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