Profilm3D都已標配100mm自動化X/Y平臺；
Profilm3D光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)；
Profilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量。在數秒內，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量；
Profilm3D 標配10倍物鏡就可以提供2mmX1.7mm的視場大小，配合數字變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要，進一步減少總體成本。另外，物鏡轉盤可以配置四個不同倍數物鏡，滿足需要不同倍率物鏡切換使用的測量應用。
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