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單片智能清洗系統

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單片清洗機

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深圳正陽工業清洗設備有限公司成立于2008年，經過15余年來的發展，如今已在華東、西南、廈門等地區設立服務辦事處。


公司通過了IS09001質量管理體系、IS014001環境管理體系和職業健康管理體系，是專精特新企業，擁有多項自主知識產權，與多所高校建立了長期技術研發合作關系。


公司集產品開發、生產、銷售及提供高要求智能清洗整體解決方案于一體，致力于在智能清洗領域做專、做實、做精、做透、做特！


通過敬業、職業、專業的服務，深得客戶的信賴，與上百家企業建立了長期的伙伴合作關系，贏得了市場和業界的尊重！


RCA濕法清洗機，干法等離子清洗機等

單片式清洗機是由幾個清洗腔體組成，再通過機械手將每一片晶圓送至各個腔體中進行單獨的噴淋式清洗，清洗效果較好，避免了交叉污染和前批次污染后批次，具有工藝環境控制能力與微粒去除能力，有效解決晶圓之間交叉污染的問題。可2/4/6/8/12/16腔室，單腔室處理速度可達到35片/小時，根據客戶需求定制適用于8寸/12寸硅片清洗，內部集成精密的化學藥液配比裝置和廢液回收裝置。


單片智能清洗機有以下產品特點；



1.自主研發的智能精準的傳輸控制系統
2. 全自動化學品集中供液系統（CDS）
3. 可選配多組合的晶圓清洗工藝
4.單片處理時間短，節約成本，良品率高，有效避免邊緣再附著
5.立體層疊式結構，占地面積小。






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