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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>等離子清洗機>CPC-F/Fplus CIF 實驗室型等離子清洗機

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CPC-F/Fplus CIF 實驗室型等離子清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

產地類別 國產 應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,制藥,綜合

一、CIF 實驗室型等離子清洗機 產品介紹

等離子清洗設備在材料學,光學,電子學,醫藥學,環境學、生物學等科研領域,主要用于材料表面進行清洗、活化、改性等目的。

CIF推出的新一代等離子體清洗設備,合理的結構設計,優化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣,性能更穩定,操作更簡便,性價比更高,使用成本更低,實用性更強,更容易維護。        

二、CIF 實驗室型等離子清洗機 產品特點

u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動監測工藝參數狀態,20個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數據,機器運行、停止提示。

u PLC工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

u 采用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計,可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體分配均勻,經濟實用。

u HEPA高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

u 316不銹鋼、石英真空倉可選擇,全真空管路系統采用316不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

u 采用60度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方便,界面友好。

u 上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。

u 內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門運輸過程中不易損壞。

u 處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。

u 樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

u 安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

三、技術參數

型號

CPC-F

CPC-Fplus

ICP3

ICP3 plus

艙體尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

H120xΦ270mm  

H120xΦ270mm

艙體容積

3.8L

3.8L

3.8L

3.8L

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

匹配器

自動匹配

自動匹配

自動匹配

自動匹配

激發方式

電容式

電容式

電感耦合

電感耦合

射頻功率

10-300W可調

10-150W可調

10-300W可調

10-150W可調

氣體控制

雙浮子流量計

有效處理尺寸

L200xW155mm

產品尺寸

L425xW420xH465mm

包裝尺寸

L560xW545xH730mm

時間設定

1-99分59秒

真空泵

抽速4-8m3/h

氣體穩定時間

1分鐘

真空度

100pa以內

AC220V 50-60Hz






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