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化工儀器網>產品展廳>分析儀器>質譜>氣體質譜/在線質譜>Transpector CPM RGA Transpector® CPM 3殘余氣體分析儀

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Transpector CPM RGA Transpector® CPM 3殘余氣體分析儀

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 杭州太昊科技有限公司
  • 品牌 INFICON/美國
  • 型號 Transpector CPM RGA
  • 產地
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/1/24 15:50:22
  • 訪問次數 1646

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      杭州太昊科技有限公司是INFICON的授權代理商,專業銷售INFICON旗下的真空產品及設備,同時致力于先進真空技術的推廣和應用,為廣大用戶改進生產工藝,提升競爭力提供產品服務和技術支持。

      目前,公司所經營的產品主要有三大類: 一、膜厚控制/監測系統,產品包括膜厚控制儀、膜厚監測儀、傳感器探頭、振蕩器及坩堝控制儀等;二、氣體檢漏/分析系統,產品有氦質譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、四極質譜儀(即殘余氣體分析儀)及其他類型檢漏儀;三、真空監測/控制系統,產品主要包括:真空規、壓強控制儀、質量流量計、真空閥門、真空密封件等;產品應用覆蓋光電技術、太陽能薄膜、半導體制造、照明電器、空調制冷、科研、航天、汽車制造等眾多行業和領域。公司本著“積極進取、開拓創新”的精神,不斷提升專業技能、完善運營細節,兢兢業業、勤勤懇懇,旨在為廣大用戶提供更好的真空技術支持和更加完善的售后服務。

我們的理念是“完善自我,攜手用戶,精誠合作,共同進步”。我們以我們的誠信和服務贏得用戶的肯定和信任,以客戶的肯定和信任作為我們孜孜以求的動力和目標,期待更多新老朋友來電來函咨詢業務,洽談合作!







氦質譜檢漏儀,冷媒檢漏儀,真空計,膜厚控制儀,流量控制器,氣體分析儀,真空泵及耗材,晶振片

產地類別 進口 價格區間 面議
應用領域 電子,綜合

INFICON Transpector CPM 一直是半導體行業市場*先的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監測系統。現在,Transpector CPM 3 通過集成經實踐驗證的泵送和進口系統與新型傳感器和電子元件,達到業內*先的測量速度和靈敏度。Transpector CPM 3 是新型和現有半導體過程(例如,ALD、CVD、PVD 和蝕刻)的理想 RGA 過程監控器。

Transpector CPM 3 通過以下特性為合作伙伴提供經實踐證實的投資回報率:業內*先的測量技術,穩健的適應性架構,易于維護,出色的產品支持

功能

  • ALD、蝕刻、CVD 和 300 mm 除氣殘余氣體分析儀 — 實現實時過程監測和分析

  • ALD 就緒,測量速度為每點 1.8 ms(每秒 555 點)

  • 在大多數苛刻 CVD 和蝕刻應用中,展現出經實踐驗證的耐久性和可靠性

  • 應用集成 — Transpector CPM 集成 FabGuard 軟件,由 INFICON 高 級應用專家提供支持,是一款強大的過程監測與診斷工具

  • 緊湊尺寸 — 允許輕松集成到半導體生產設備

  • Hexblock™ 含三個壓力進口并減少表面積,以zui小化表面反應時間和響應時間

  • 電容隔膜計 (CDG) — CDG 允許用戶監測過程壓力,并自動保護系統不出現壓力偏移

  • 自動校準 — 確保長期數據穩定性和精度,以便進行各傳感器和工具的腔室匹配







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