產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 電子,航天 | 光源頻率 | 雙頻 |
測量范圍(m) | 40米 | 線性分辨力(um) | ?0.001um |
穩頻精度(ppm) | ±0.02ppm | 線性測量精度(ppm) | ?±0.1ppm(真空中)?±0.4ppm |
穩頻方式 | ?雙頻激光熱穩頻 | 預熱時間 | ?≤6分鐘 |
鐳測科技雙頻激光干涉儀LH2000滿足計量檢測用戶更穩定、更高精度、更便利的使用要求;以光刻機用激光干涉測量系統為基礎,在保留高穩定性、高精度、高采樣速率的同時,將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里,一體化設計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗;典型頻差7±0.5 MHz,測速高達2m/s。
系統組成:
鐳測科技雙頻激光干涉儀 LH2000激光測頭及附件
環境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
光學調整附件
三腳架及其他測量附件
激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
激光頭重量 | 3.3kg |
激光光束直徑 | 6mm |
激光功率 | >0.5mw |
真空波長 | 632.99nm |
頻差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
工作溫度范圍 | +10℃~+30℃ |
儲存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |
激光穩頻精度 | ±0.02ppm |
線性測量范圍 | 40m |
線性測量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環境補償器) |
分辨率 | 1nm |
測量速度 | 2m/s |
工作電源 | 220V/50Hz |
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