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ODS系列 臭氧傳輸系統(tǒng)

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上海睿丹自動(dòng)化儀表有限公司,公司集科技、工業(yè)、貿(mào)易于-一體,專注自控產(chǎn)業(yè),并為各行業(yè)企業(yè)提供優(yōu)質(zhì)解決方案的專業(yè)企業(yè),公司始終堅(jiān)持走品牌路線、創(chuàng)質(zhì)的服務(wù)品牌。同時(shí)依托于上海交通大學(xué),中科院力學(xué)所、聲學(xué)所、航天部等大型科研單位并與華東理工大學(xué)等高校形成長期科研合作關(guān)系,我們的承諾是:以合理的價(jià)格、過硬的質(zhì)量、快捷的貨期及快速的售前咨詢、售中指導(dǎo)、售后服務(wù),在為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品的同時(shí)讓您充分感受到現(xiàn)代工業(yè)給您帶來的方便與震撼。憑借公司的強(qiáng)大實(shí)力和經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)技術(shù)隊(duì)伍,睿丹公司享有直接的國外的產(chǎn)品代理權(quán)及進(jìn)出口權(quán):德國HBM、日本Yokogawa、美國Honeywell,美國GE,德國SIEMENS;英國Druck,加拿大BW,法國Oldham,美國Flowline,美國Dwyer,,芬蘭VAISALA,英國Michell,德國CS,日本RIKEN,德國Drager等

我們將堅(jiān)持不懈地探索創(chuàng)新,使技術(shù)、品質(zhì)更加完善,為社會(huì)奉獻(xiàn)更多的新產(chǎn)品。竭誠歡迎與各界同仁,有志之士進(jìn)行廣泛友好合作,實(shí)現(xiàn)優(yōu)勢互補(bǔ),雙贏共享!

自動(dòng)化儀器儀表,進(jìn)口分析儀器,流量計(jì),傳感器,液位計(jì),室驗(yàn)室儀器,承接自動(dòng)化系統(tǒng)、工程設(shè)計(jì)成套安裝及調(diào)試、實(shí)驗(yàn)室氣體管道設(shè)計(jì)、安裝。


分析儀器,流量計(jì),傳感器,水質(zhì)分析儀器,熱值儀,氣體檢測儀

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 生物產(chǎn)業(yè),能源,冶金,煙草,電氣

臭氧傳輸系統(tǒng)ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求最高的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合wan全,操作簡單,能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)聯(lián)動(dòng),插入即可使用。該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險(xiǎn)。

臭氧傳輸系統(tǒng)規(guī)格

臭氧傳輸系統(tǒng)特征
 
高純度水冷臭氧發(fā)生器,濃度最高達(dá)
350 g/Nm3
zuixian進(jìn)的高濃度監(jiān)測儀
使用質(zhì)量流量計(jì)監(jiān)測和控制臭氧和
進(jìn)氣
完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)
最多支持四個(gè)獨(dú)立的伺服控制回路
19英寸柜機(jī)式外殼,頂端帶有排氣系
統(tǒng),底端配有輪子

應(yīng)用
化學(xué)氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
顆粒清潔
光刻膠去除
灰化


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