PICOSUN™P-1000系統專門對于3D結構物體 進行批量涂層加工，例如： 機械零件、玻璃或金屬片、硬幣、珠寶以及醫療植入器械。主要的應用包括制備各種各樣的鈍化層和阻擋 層， 顯著提高器件的性能和壽命。巧妙、創新 的設計使得PICOSUN™ P-1000 ALD系統在具  有制備高均一性的高質量ALD薄膜的同時能 夠有很高的產量， 并且是市場上保養、維護時 間低，購置成本最小的ALD系統。這些都已 經在實際生產中得到證實。

可靠、快速且易于維護的PICOSUN™ P-1000 ALD系統代表了工業化ALD工藝水平！

PICOSUN™P-1000襯底尺寸和類型

•    大小不等的3D結構物件（例如： 機械零件、 玻 璃或金屬片、 硬幣、 珠寶以及醫療植入物等）

工藝溫度

•    50 – 400°C

標準工藝

•    Al2O3, ZnO, TiO2

基片裝載

•    通過裝載工具進行手動裝載（例如： 叉車）

前驅體

•    液態、固態、氣態、臭氧源

•    源瓶余量傳感器，提供清洗和裝源服務

•     6根獨立源管線， 最多加載10個前驅體源