全新 M6

— — 飛行時間二次離子質譜（TOF-SIMS）*科技

M6 是 IONTOF 在 TOFSIMS 5 基礎上開發的新一代飛行時間二次離子質譜（TOF-SIMS）儀器，對一次離子源（LMIG）和質量分析器（TOF Analyser）進行了突破性的改進。

此外，在硬件方面還增加了 MS/MS 功能選項，重新設計了加熱和冷卻系統；在軟件方面新增了多元統計分析（MVSA）軟件包。其設計保證了 SIMS 應用在所有領域的應用性能。

新的突破性離子束和質量分析器技術使 M6 成為二次離子質譜（SIMS）儀器中的耀眼光芒、工業和學術研究的理想工具。

       全新 M6 具有以下突出優勢：

1      新型 Nanoprobe 50 具有高橫向分辨率 (< 50 nm)

2      質量分辨率 > 30,000

3      *的延遲提取模式可同時實現高傳輸，高橫向質量

4      廣域的動態范圍和檢測限

5      用于闡明分子結構具有 CID 片段功能的 TOF MS/MS

6      *智能的 SurfaceLab 7 軟件，包括*集成的多元統計分析 (MVSA) 軟件包

7      新型靈活按鈕式閉環樣品加熱和冷卻系統，可長期無人值守運行

Nanoprobe 50 — — 全新 M6 的突破性離子束技術

       Nanoprobe 50 是新一代 M6 的鉍離子團簇離子源（LMIG）。

       該源可提供高達 40 nA 的 DC 電流和高達 40 pA 的脈沖一次離子電流（脈沖一次離子電流是 TOF.SIMS 5 的 2 倍 ），保證 50 nm 的高橫向分辨率和提高兩倍的數據傳輸率。

  其新的雙極集束系統可以以高達 50 kHz 的重復頻率運行，從而允許*的數據速率和改善的檢測極限，使質譜性能和操作便捷性都更上一層樓。

  其快速成像模式下的性能優于 90 nm @ 350 pA，束流密度比上一代的 TOF.SIMS 5 提高接近 2 倍。

  Nanoprobe 50 是用于高橫向分辨率顯微分析和成像以及高質量分辨率表面質譜分析和深度剖析的理想一次離子源。

全新 M6 TOF Analyser（質量分析器）

相比于其他類型的質量分析器，傳輸率、質量分辨率和質量精度是飛行時間質量分析器最重要的優勢性能。

M6 的反射型飛行時間質量分析器具有高傳輸率和高質量分辨率的特點，不論在 SIMS 正譜還是 SIMS 負譜應用中，兩種高性能都是同時實現的。此外，可達到的足夠高的質量精度是實現清晰峰鑒定的重要前提。M6 的飛行時間質量分析器具有線性質量標度，可提供優于 10 ppm 的質量精度。

相對于 TOF.SIMS 5 的 TOF Analyser 而言，M6 的 TOF Analyser 采用了全新的提取光學器件設計，可通過切換提取光學器件的工作模式實現更高的傳輸率和成像景深，非常適合進行樣品臺掃描成像；改進了二次離子傳輸系統，二次離子的傳輸能量高達 6 keV，提高了靈敏度并極大改善了 Delayed Extraction 模式下的性能；拓展了二次離子的飛行路徑，從 2 m 增加到 3 m，全新 M6 的質量分辨率可達到 30,000（FWHM）；還進一步提高了二次離子檢測系統的靈敏度和檢測效率。并且 M6 的 TOF Analyser 依然兼容現有的EDR 技術和 Hybrid SIMS 功能選項。

提取光學系統和檢測系統的革新性設計使傳輸率提高了三倍。結合高重復率和經過改進的 Nanoprobe 50 的一次離子電流，在雙束深度剖析中的檢測限也提高了三倍。新的開發還使成像速度提高了三倍，曾經耗時的圖像采集如今只需要幾分鐘。

全新 M6 加熱和冷卻系統（Heating & Cooling）

為了將飛行時間二次離子質譜（TOFSIMS）的分析應用拓展到如揮發性化合物等組分會隨溫度變化而變化的材料，可以在進樣室或分析室安裝加熱和冷卻系統。

        由計算機編程控制溫度和分析程序，為測定隨溫度變化而變化的成分而給出成分的溫度分布提供了途徑（也就是所謂的溫度分布 SIMS ），還可以在選定的溫度下進行分析、測定材料發生相變或轉變的溫度，還可以分析溫敏材料。

        全新 M6 的 Heating & Cooling 是 IONTOF 在 TOF SIMS 5 Heating & Cooling 的基礎上重新設計的全新加熱和冷卻系統，特別是在加熱和冷卻樣品托、冷卻系統方面。