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平行板電容式PECVD

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PECVD化學(xué)氣相沉積

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  沈陽科晶立足國內(nèi)市場實(shí)際情況,以提供Z為實(shí)用的產(chǎn)品為己任。產(chǎn)品的質(zhì)量、精度在向國外企業(yè)看齊的基礎(chǔ)上,產(chǎn)品的價(jià)格定位卻僅僅是其幾分之一。性價(jià)比不僅吸引了眾多國內(nèi)客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產(chǎn)品遠(yuǎn)銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。

  沈陽科晶為了更好地服務(wù)客戶,專門設(shè)立了開放式專業(yè)實(shí)驗(yàn)室,配備了優(yōu)秀的專業(yè)技術(shù)人員。在這里,不僅可以提供親身的產(chǎn)品體驗(yàn)環(huán)境,而且還可得到專業(yè)人員的操作指導(dǎo)。開設(shè)以來,制作的樣品達(dá)上千件,接待來訪客參觀戶百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。

  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業(yè)全力貢獻(xiàn)的歷程,是以實(shí)際行動(dòng)將自己打造成國內(nèi)材料分析設(shè)備品牌的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅(jiān)持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅(jiān)持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會(huì)成為市場上專業(yè)的、杰出的材料分析設(shè)備品牌,沈陽科晶的明天會(huì)更加燦爛輝煌。

 

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產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子

平行板電容式PECVD是一種用等離子體激活反應(yīng)氣體,促進(jìn)在基體表面或近表面空間進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),生成固態(tài)膜的技術(shù)。等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)的基本原理是在高頻或直流電場作用下,源氣體電離形成等離子體,利用低溫等離子體作為能量源,通入適量的反應(yīng)氣體,利用等離子體放電,使反應(yīng)氣體激活并實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積的技術(shù)。該系統(tǒng)為單室等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝研發(fā)設(shè)備,用于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。1、系統(tǒng)采用單筒式結(jié)構(gòu),手動(dòng)前開門
2、高真空環(huán)境下進(jìn)行沉積薄膜
3、不銹鋼腔體
4、樣品臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)

產(chǎn)品名稱 平行板電容式PECVD
安裝條件 1、環(huán)境溫度:10℃~35℃
2、相對濕度:不大于75%
3、供電電源:220V、單相、50±0.5 Hz
4、設(shè)備功率:小于4KW  
5、供水:水壓0.2MPa~0.4MPa,水溫15℃~25℃,
6、設(shè)備周圍環(huán)境整潔,空氣清潔,不應(yīng)有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導(dǎo)電的塵埃或氣體存在。
主要參數(shù) 1、系統(tǒng)采用單室筒式結(jié)構(gòu),手動(dòng)前開門;
2、真空室組件及配備零部件全部采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學(xué)拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空室尺寸為Φ300mm×300mm;
3、極限真空度:8.0x10-5 Pa
(經(jīng)烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用4L/S);
系統(tǒng)真空檢漏漏率:≤5.0x10-7Pa.l/S;
系統(tǒng)從大氣開始抽氣到8.0x10-4 Pa,40分鐘可達(dá)到; 停泵關(guān)機(jī)12小時(shí)后真空度:≤20 Pa;
4、采用樣品在下,噴淋頭在上的電容式耦合方式進(jìn)氣;
5、樣品最高加熱溫度:500℃,溫控精度:±1°C,采用溫控表進(jìn)行控溫;
6、噴淋頭尺寸:Φ90mm,噴淋頭與樣品之間電極間距15-50mm在線連續(xù)可調(diào)(可根據(jù)工藝調(diào)整),并帶有標(biāo)尺指數(shù)顯示;
7.、沉積工作真空:13.3-133Pa(可根據(jù)工藝調(diào)整);
8、射頻電源:頻率 13.56MHz,最大功率300W全自動(dòng)匹配;
9、氣體種類(用戶自備),標(biāo)準(zhǔn)配置為2路100sccm質(zhì)量控制器,用戶可根據(jù)工藝更改氣路配置;
10、系統(tǒng)尾氣處理系統(tǒng)(用戶自備)。

 

 

 



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