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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>其它半導體行業儀器設備>分子束外延(MBE)>FPSEM-STE35 三腔室分子束外延MBE系統

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FPSEM-STE35 三腔室分子束外延MBE系統

參考價950000-1750000/件
具體成交價以合同協議為準

聯系方式:華小姐查看聯系方式

聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


孚光精儀是進口精密儀器和實驗室儀器設備供應商,是*基于激光和成像等光子技術分析測試儀器的規模性進口商和代理商,服務商。
孚光精儀公司以精密光學技術為特色,以光學應用為宗旨,以歐洲,北美和日本進口精密儀器為主業,為中國客戶提供*分析測試儀器產品,促進光學技術產品在中國的應用和相關技術水平提升。

21世紀是光學世紀,激光,光譜,光學成像等光學技術極大地促進生物光子學,燃燒和流體力學光學診斷,光譜測試分析等學科發展和技術提升,成為前沿科學和先進制造*的分析,計量,測試和實驗工具手段,因此“光學”成為“精密”的代名詞,是*精密測試分析的有力實驗技術。


孚光精儀公司就是這樣一個以光學為特色的進口儀器和實驗室設備公司,擁有齊全的進口精密(光學)儀器種類,龐大而可靠的國外生產商群體,和快捷高效的貿易體系,是用戶信賴的進口分析測試技術儀器和實驗室儀器的旗艦型供服務商。

公司品牌釋意


孚:信服/conviction

光:光學/optics

精:精密/

precision
儀:儀器/Instruments

我們信服于光學,致力于光學精密儀器事業。


公司價值
孚光精儀-精通光學,服務科學

經驗豐富的激光和光學技術工程師幫助用戶出具方案,確認適合應用的精密

光學儀器和科學儀器裝置,為用戶提供“舒心,省心”的進口體驗。
以豐富的進口操作經驗和電子商務管理體系,高效溝通國外制造商,為用戶提供高效的儀器進口和購置服務!
齊全的光學種類
涵蓋了所有光學和激光技術應用領域和相關儀器

熒光光學成像儀器 (包括FRET系統,TIRFM顯微鏡系統, 鈣成像顯微鏡系統,熒光壽命成像系統,生物發光和熒光發光成像系統等生物光子學儀器)

分子生物學

光學儀器( 包括凝聚成像,生物發光和熒光發光成像系統等)

醫用

光學儀器(內窺成像,生物活檢成像,輻射成像等)

光譜分析

測試儀器 (激光拉曼光譜儀, FTIR光譜儀,LIBS光譜儀等)

激光粒度儀器 (基于激光和圖像技術的粒度和濃度

測試儀器

光學成像儀器 (高速成像,紅外熱成像,X射線成像)

光譜成像系統 (包括高光譜成像,多光譜成像儀器)

燃燒和流體力學光學診斷技術和儀器 (基于激光和成像技術,融合光譜分析技術組建PIV,PLIF,溫度探測,燃燒分析成像等儀器)

無損光學檢測儀器(如果激光散斑干涉,EPSI,X射線成像,熱成像,光學內窺等儀器)

AFM, SEM,SPM等特種光學顯微鏡

通用

實驗室儀器和設備(包含所有涉及光學技術的實驗儀器)

服務和應用領域

生物光子學

生命科學

醫學成像

制藥

食品工程

化學和化工

 

實驗室儀器實驗室建設

流體力學

工程熱物理

燃燒診斷分析

發動機研發

航空航天

地球物理科學

地質和石油勘探


半導體和微電子

 

 

 

 

 

先進制造

新能源

材料科學

儀器科學與技術

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客戶群體
     
高等院校

*系統研究院所

中國國有企業及其研究院所

外資企業


高效的服務體系
總部位于上海,在上海自貿區和天津自貿區具有倉庫,在香港設立貿易公司,擁有遍布全國的代理商,供應商遍布美國、德國、英國、法國、意大利、奧地利、瑞典、捷克、立陶宛、愛沙尼亞等精密儀器優勢國家和地區。
公司受益于香港便捷的貿易條件以及上海自貿區和天津自貿區的高效進口程序,為客戶提供高效技術儀器進口服務,為制造商提供高效出口服務。

靈活的購買方式
孚光精儀在天津和上海均有進口公司,眾邦企業(天津)貿易有限公司和輔光精密儀器(上海)有限公司,具有商檢,報關,進出口等高貿易資質,為客戶提供優質而專業的進口服務,幫助出口商/制造商完成清關服務,并送貨到用戶地址。

 

外方經理定期來華辦公指導                                             工作園區一角\

公司電子*門辦公一角                                                   員工文化墻一角


用戶的青睞和信任
我們高效的服務和質優價廉的產品贏得了廣大的青睞和信賴,成為聲譽*的*產品和服務供應商。國內的科研單位多次從我公司訂購各種產品。如:
*上海光機所

*西安光機所

*安徽光機所

*長春光機所

*合肥物質研究院


*物理研究所

*光電研究院


*福建物質結構研究所
中國工程物理研究院
華中光電技術研究所
中國電子集團公司53

清華大學

北京大學

中國科技大學


哈爾濱工業大學
山東大學
武漢大學
南開大學

天津大學


**********

 

 

 

 

飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡

生長溫度 900度

三腔室分子束外延系統是帶有三個MBE分子束外延生長腔室的異質結材料MBE生長設備,可用于在高達100mm的襯底上以及三個2英寸以上襯底上一次精確生長外延層,獲得很好的厚度和均勻性能。
三腔室分子束外延系統使用PA-МВЕNH3-MBE特殊型號的MBE生長設備,可生長InAlGaAsSbInGaAlN外延異質結構。
在使用其他制造商的擴散池時,由于改變了“源到襯底”的距離(晶圓和加熱器同時進行*的垂直移動),因此可以進行額外的均勻性優化。
三腔室分子束外延系統是一個三室超高壓系統,包括單獨泵送的生長室、用于預生長準備的緩沖/放氣室和負載鎖定室。所有腔室通過真空門和普通的半自動基板轉移系統連接。生長過程由基于原有軟件的自動化系統控制。它允許控制過程手動或在自動模式下使用編程配方。
三腔室分子束外延MBE系統

三腔室分子束外延系統基本配置:
•具有垂直生長幾何結構的生長室,通過離子/低溫泵(用于常規III Vs)或TMP/C Ryopump(用于III氮化物)和鈦升華泵進行泵送
10×63CF孔,用于帶百葉窗的滲出池,1個中心63CF孔和最多3×40CF無百葉窗的外部孔,用于V組材料閥門裂解器或氣源;紅外高溫計或激光干涉測量孔
•通過生長室上的幾個視口可以看到所有滲出細胞孔
•單個液氮冷凍板,有效包圍生長體積(NH3-MBE生長操縱器的附加冷凍板)
•基于PBN/PG/PBN的生長機械手加熱元件,具有高均勻性和快速上下動態
•一套分子源,包括5個滲出細胞和V組的源(帶閥裂解器、氮等離子體源或氨注入器)
•最高基板溫度-不低于900°С(NH3-MBE不低于1200°С)
•現場監測工具:RHEED、紅外高溫計、RGA和激光干涉儀(用于III氮化物生長)
•準備室,帶有用于基板支架(7個)和晶片脫氣臺的存儲盒,原子氫源專用端口
•帶儲物盒的裝載鎖室,用于基板支架(8個),帶有配備手套箱的快速檢修門
•一套基板支架
•適當的超高壓儀表
•烘烤系統(高達200°C),無熱點形成
•控制電子設備
•基于原始軟件的過程控制系統
三腔室分子束外延系統主要優勢:
•“實驗室到工廠”的概念,允許開展從基礎研究到異質結構試生產的活動
•鋁(冷唇)專用滲出細胞,操作穩定,鎵(熱唇)提供低橢圓形缺陷密度
•在系統基本配置中對生長過程進行現場監測的所有必要工具
•特別設計的生長操縱器,提供高溫均勻性和加熱/冷卻速率動態
•安裝期間的有效技術支持,包括基本工藝轉移
•簡單的系統操作和定期的技術維護
三腔室分子束外延系統參數:

烘烤后生長室的最終真空度,Torr<5×10-11
最大基板直徑,mm1003×2block
100mm晶圓的厚度和復合不均勻度,%±1
“源到基片”距離,mm135÷210
滲出細胞百葉窗設計基于磁耦合旋轉運動的無沖擊驅動旋轉機構
百葉窗葉片材料鉭、鉬或PBN(可選)
生長機械手加熱元件的設計PBN/PG/PBN
生長操縱器的最高工藝溫度,不低于,℃900
NH3-MBE1200
準備室中基板脫氣溫度,不低于,℃650
III氮化物為1100
生長室烘烤溫度,不低于,℃200
離子泵容量,不小于,l/s
–生長室(III-NTMP
–準備室
–負載鎖定

800 (2000)
500
300



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