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CC-200 PECVD設(shè)備

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PECVD設(shè)備

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青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司是專(zhuān)業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備公司，有完善的服務(wù)和銷(xiāo)售體系。專(zhuān)業(yè)經(jīng)營(yíng)各類(lèi)進(jìn)口機(jī)械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進(jìn)口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機(jī),冷媒分析儀;愛(ài)發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛(ài)發(fā)科ULVAC-真空計(jì);愛(ài)發(fā)科ULVAC-真空泵;新機(jī)械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機(jī)SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機(jī);大進(jìn)DAISHIN-自動(dòng)焊接機(jī),點(diǎn)火器;德國(guó)SEW-電機(jī)減速機(jī);松村MORESCO-潤(rùn)滑油;出光IDEMITSU-潤(rùn)滑油;

 

半導(dǎo)體設(shè)備

產(chǎn)地類(lèi)別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 能源

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
Load-lock式Plasma CVD設(shè)備CC-200/400是小型的使用便利的可對(duì)應(yīng)從研究開(kāi)發(fā)到量產(chǎn)的設(shè)備。                                     

產(chǎn)品特性：
• 27.12MHz高密度等離子制程
 
• SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對(duì)應(yīng)SiO2膜
 
• 以CF4+O2 Plasma實(shí)現(xiàn)腔體清潔功能
 
• 可對(duì)應(yīng)有機(jī)EL（OLED）的低溫成膜用heater
 
• 使用Tray可搬送多種基板尺寸
 
• 通過(guò)使用真空Box實(shí)現(xiàn)C系列的間接連續(xù)制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）

產(chǎn)品應(yīng)用：
• 功率器件

• LED、LD、高速device等化合物相關(guān)

• 有機(jī)EL（OLED）開(kāi)發(fā)

• 太陽(yáng)電池開(kāi)發(fā)




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