背散射電子圖像分辨率 | 1nm | 二次電子圖象分辨率 | 1nmnm |
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放大倍數 | LM mode x30~x2k ;HM mode x100~x800kx | 加速電壓 | 0.5~30kV (0.1kV step)kV |
價格區間 | 150萬-200萬 | 儀器種類 | 冷場發射 |
應用領域 | 醫療衛生,環保,電子,汽車,電氣 |
品牌:日立
型號:S-4800掃描電子顯微鏡
產品簡介:
日立S-4800掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內透鏡設計,卻能達到超高分辨率,可以與內透鏡UHR掃描電鏡相媲美。
產品概述&參數:
掃描電子顯微鏡儀器特點:
1. 新型物鏡采用的ExB設計。使用單檢測器和超級ExB可以分別收集和分離單純二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。
2. 1KV低加速電壓,不使用減速功能,可保證有2.0nm的分辨率。
3. 兩種樣品臺可選:I型50mm x 50mm標準樣品臺或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。
4. 包括磁懸浮渦輪分子泵在內的*的真空系統。
5. 光闌自清潔技術,避免了光闌的污染。
儀器參數:
二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV,減速模式)
1.0nm (15kV)
電子光學:
電子槍: 冷場發射電子源
加速電壓: 0.5~30kV(0.1KV/步,可變)
放大倍率: x 20~ x 800,000
物鏡光闌: 4孔,真空外選擇和調校(內置加熱器)
檢測器: 二次電子檢測器 (高位/低位)
背散射電子檢測器(可選)
EDX(可選)
透射電子檢測器(可選)
法拉第杯(可選)
陰極熒光檢測器(可選)
樣品臺: l型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360°
驅動:手動(可選3軸驅動)
ll型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70°
R: 360°驅動:PC機控制5軸驅動
圖像顯示:
操作/顯示: PC/AT 兼容,
操作系統: WindowsTM 2000
18.1" 平面顯示器
掃描模式: 標準,Split/dual mag./linescan, position
set, spot, AAF, SAA, oblique
畫面儲存: 640 x 480, 1,280 x 960,
2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
圖像編輯: 內置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
圖像文件格式: BMP, TIFF, JPEG
掃描速度: TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄
成像過程: 自動調節亮度和對比度
光柵旋轉,自動聚焦,自動像散校正,
平均,幀積分,偽彩色顯示
自動數據記錄: 膠卷號,加速電壓,微米標尺,放大
倍率,日期,時間,工作距離
電子圖像移動: ±12u( W.D. = 8 mm)
真空系統: *氣閥自動調節
離子泵 3 臺
渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺
機械泵 1 臺