科特萊思科熱阻蒸發鍍膜系統-Nano-36

科特萊思科熱阻蒸發鍍膜系統Nano36擁有LOAD LOCK預真空進樣室（可選）、前開門蒸發腔體、冷凝泵和干泵、多個熱阻蒸發源或OLED低溫蒸發源。

在高真空下，電子槍燈絲加熱后發射熱電子，被加速陽極加速，獲得很大的動能轟擊到的蒸發材料上，把動能轉化成熱使蒸發材料加熱氣化，而實現蒸發鍍膜。電子束蒸發源由發射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發源的能量可高度集中，使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發。通過調節電子束的功率，可以方便的控制鍍膜材料的蒸發速率，特別是有利于高熔點以及高純金屬和化合物材料。可在高真空下蒸發不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜，廣泛應用于物理，生物，化學，材料，電子等領域。

科特萊思科熱阻蒸發鍍膜系統-Nano-36

在高真空下，電子槍燈絲加熱后發射熱電子，被加速陽極加速，獲得很大的動能轟擊到的蒸發材料上，把動能轉化成熱使蒸發材料加熱氣化，而實現蒸發鍍膜。電子束蒸發源由發射電子的熱陰極、電子加速極和作為陽極的鍍膜材料組成。電子束蒸發源的能量可高度集中，使鍍膜材料局部達到高溫而蒸發。通過調節電子束的功率，可以方便的控制鍍膜材料的蒸發速率，特別是有利于高熔點以及高純金屬和化合物材料?？稍诟哒婵障抡舭l不同厚度的各種金屬與氧化物薄膜，廣泛應用于物理，生物，化學，材料以及電子等領域。