小型臺(tái)面式熱蒸發(fā)鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 西三環(huán)中原區(qū)國(guó)家大學(xué)科技園東區(qū)創(chuàng)新園6號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/3/29 15:49:40
- 訪問次數(shù) 1660
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靶材材質(zhì) | 詳詢 | 靶材尺寸 | 0mm |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
濺射氣體 | 氣體 | 控制方式 | 觸摸屏控制 |
樣品倉尺寸 | 0mm | 樣品臺(tái)尺寸 | 50mm |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
小型臺(tái)面式熱蒸發(fā)鍍膜儀是一款小型臺(tái)式蒸發(fā)功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對(duì)大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。
小型臺(tái)面式熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
控溫方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
大功率 | ≤800W |
大輸出電壓電流 | 電壓≤10V 電流≤80A |
真空度 | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
樣品室 | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺(tái) | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (大可安裝φ50基底) |
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品熱源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1600℃ |
蒸發(fā)坩堝容積 | 3ML |
真空法蘭 | KF25抽氣口 KF25擴(kuò)展口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 | 1 膜厚在線測(cè)試 2 分子泵
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