FMJG 飛秒脈沖激光劃痕系統(tǒng),飛秒激光微納加工
參考價(jià) | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 廣東鐳泰激光智能裝備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FMJG
- 產(chǎn)地 松山湖大學(xué)創(chuàng)新城
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2020/6/6 12:00:30
- 訪問(wèn)次數(shù) 724
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激光打標(biāo)機(jī),激光雕刻機(jī),激光切割機(jī),線路板打標(biāo)追溯機(jī),激光剝線機(jī),激光清洗機(jī),激光微加工,自動(dòng)化設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材,電子,航天,汽車,電氣 |
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飛秒脈沖激光劃痕系統(tǒng),飛秒激光微納加工 飛秒脈沖激光劃痕系統(tǒng),飛秒激光微納加工
飛秒激光微納加工系統(tǒng)專業(yè)為工業(yè)激光微加工研究和生產(chǎn)而研發(fā)的成熟的飛秒激光微加工系統(tǒng),可用于飛秒
鐳泰激光技術(shù)研究 ,飛秒激光的超快速時(shí)間和超高峰值特性將其能量全部、快速、準(zhǔn)確地集中在限定的作用區(qū)域,實(shí)現(xiàn)對(duì)幾乎所有材料的非熱熔性冷處理,獲得傳統(tǒng)激光加工*的高精度、低損傷等*優(yōu)勢(shì)。通過(guò)與長(zhǎng)脈沖作用情形的比較,詳細(xì)闡述飛秒激光作用的基本原理及其本質(zhì)特征。介紹了目前應(yīng)用飛秒激光這一*優(yōu)勢(shì)在材料的超微細(xì)加工和結(jié)構(gòu)處理、光子器件新型制作、高密度數(shù)據(jù)全新存儲(chǔ)、醫(yī)療和生物工程等方面取得的新進(jìn)展,揭示了飛秒激光在工業(yè)加工、微電子、光通訊、光信息和生命科學(xué)等高技術(shù)領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用前景。
隨著微納制造技術(shù)的進(jìn)步,器件不斷的向微型化發(fā)展;而器件組分材料的的拓展和性能提升,又反過(guò)來(lái)對(duì)微納加工技術(shù)提出了更高的要求。飛秒激光加工(Lasertech-FM)具有真三維加工能力和較高的加工分辨率,在微光學(xué)、微電子、微機(jī)械等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。然而,利用飛秒激光加工直接燒蝕制備硬質(zhì)材料微納結(jié)構(gòu)時(shí),存在加工效率低和表面粗糙度大等問(wèn)題。利用化學(xué)濕法腐蝕去除激光改性區(qū)域可以在很大程度上解決這個(gè)問(wèn)題,但化學(xué)濕法腐蝕所用的腐蝕液通常為強(qiáng)酸強(qiáng)堿,存在安全問(wèn)題。而且通常為各向同性腐蝕(晶向依賴腐蝕除外),嚴(yán)重的橫向腐蝕引起的圖形轉(zhuǎn)移失真,造成了其與半導(dǎo)體工藝的兼容性問(wèn)題。
其主要思想是利用低能量激光快速掃描,通過(guò)逐點(diǎn)能量淀積產(chǎn)生的光改性活性區(qū),精確定義CAD結(jié);由于活性區(qū)與非改性區(qū)的干法刻蝕速率差距(刻蝕比)高達(dá)兩個(gè)數(shù)量級(jí),由此通過(guò)材料祛除可以實(shí)現(xiàn)復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移和制備。利用這一技術(shù)制備的硅基微透鏡具有較高的表面質(zhì)量,表面粗糙度僅有8納米。通過(guò)調(diào)控激光脈沖能量、脈沖數(shù)以及刻蝕時(shí)間等參數(shù),他們實(shí)現(xiàn)了透鏡直徑與高度的獨(dú)立調(diào)控。為了進(jìn)一步驗(yàn)證硅基微凹透鏡的表面質(zhì)量,他們利用反射式成像系統(tǒng)對(duì)其進(jìn)行了光學(xué)成像的測(cè)試,獲得了較好的成像效果。并且利用此硅基微凹透鏡陣列為模板實(shí)現(xiàn)了聚合物(PDMS)微凸透鏡陣列的轉(zhuǎn)寫制備。另外,他們通過(guò)兩種方式驗(yàn)證了干法刻蝕輔助飛秒激光加工技術(shù)與半導(dǎo)體工藝的兼容性:在現(xiàn)有半導(dǎo)體器件上實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的集成,以及將飛秒激光加工過(guò)程插入到光刻工藝中,結(jié)合干法刻蝕實(shí)現(xiàn)復(fù)雜器件的集成。