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化工儀器網>產品展廳>光學儀器及設備>電子顯微鏡>掃描電鏡(SEM)> 發射掃描電子顯微鏡ReguluS

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發射掃描電子顯微鏡ReguluS

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似空科學儀器(上海)有限公司是一家儀器設備的經銷商。我們致力于為中國制造業和研發機構提供高精度、符合人體工學設計的儀器設備。我們也夢想有朝一日,能夠充分掌握市場需求,深刻理解儀器設備的技術原理,聚集一批有激情、有理想、有技術的人,為中國的制造業升級以及中國科研走向世界,提供自有知識產權的先進儀器設備!
儀器設備發展的是探測手段和傳感器不對被測目標產生任何干擾,企業管理的是一切以市場為核心,不以自我的意愿抗拒市場的趨勢,代替客戶的喜好,于是我們取名“似空”,希望以忘我的精神服務客戶。

 

失效分析,芯片開封,表面觀測,金相研磨,光學及視頻顯微鏡,超聲波檢測,X射線檢測,激光微納加工等

價格區間 面議 儀器種類 場發射
應用領域 電子

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能,配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1,可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.9 nm,Regulus8100的分辨率提高到1.1 nm,觀察性能與現有機型相比提高了20%左右。

此外,為充分發揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發揮儀器的*性能。

*1

僅限Regulus8240/8230/8220



發射掃描電子顯微鏡ReguluS特色:
 

  • 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2
  • 采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間,使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的*性能
  • 與現有機型相比分辨率提高了20%左右
    (Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)
  • 采用污染小、高真空樣品倉
  • 運用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察


樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V

超高分辨觀察


樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析


樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV

 

 

*2

僅限Regulus8240/8230/8220

發射掃描電子顯微鏡ReguluS規格:

項目Regulus 8100Regulus 8220Regulus 8230Regulus 8240
二次電子分辨率0.8 nm
(加速電壓15 kV)
1.1 nm
(著陸電壓1 kV)*3
0.7 nm(加速電壓 15 kV)
0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*3
著陸電壓0.1~2 kV0.01~20 kV
放大倍率20~1,000,000倍*420~2,000,000倍*4
樣品臺樣品臺控制3軸馬達臺(可選5軸馬達臺)5軸馬達驅動
移動范圍X0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~110 mm
Y0~50 mm0~50 mm0~110 mm0~80 mm
R360°
T-5~70°
Z1.5~30 mm1.5~40 mm
再現性---±0.5 µm以下含±0.5 µm

 

 

*3

減速模式下觀察

*4

以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率



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