產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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應用領域 | 電子,冶金,航天,汽車,電氣 |
1、產品特點/用途:
?電子束鍍膜設備一體化設計,占地面積小,性價比高,性能穩定,使用維護成本低;
?電子束鍍膜設備適用于實驗室制備金屬單質膜、半導體膜、有機膜,也可用于生產線前期工藝試驗等;
?適用于制備光學薄膜、導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜等。
2、技術參數:
型號 | TEMD500/TEMD600 |
真空腔室結構 | 立式圓柱形側開門結構,后置抽氣系統 |
真空腔室尺寸 | Φ500×H650mm/Φ600×H750mm |
加熱溫度 | 室溫~300℃ |
旋轉基片臺 | 平板型Φ200mm/平板型Φ350mm(或球罩型基片臺) |
膜厚不均勻性 | ≤±5.0% |
考夫曼離子源 | 可選 |
蒸發源 | 電子槍8KW,6穴坩堝 國產進口可選,配3-3組電阻蒸發 |
控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統 |
占地面積 | 長×寬 L2500×W1600mm |
總功率 | ≥17KW |