儀器簡介：電子探針X射線顯微分析儀不僅有較高的X射線檢出角，同時由于使用全聚焦的X射線分光晶體，能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率，并配有高穩定的電子光學系統，真空系統及高精度機械系統以及牛津X-射線電制冷能譜儀，是目前*的微區成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一。

儀器主要特點及技術指標：

l分析元素范圍： 4Be～94Pu

l電子束流穩定性：好于1.5×10^-3/H

l二次電子像分辨率：6nm

l加速電壓：0~30kV

lX射線檢出角：52.5°

l放大倍數：50×～300,000×

l分析速度：自動全元素定性分析時間≤60s

l大樣品尺寸：100mm´100mm´50mm

l樣品臺小移動間距為0.01微米，機械系統精密度高

l可觀察二次電子像（SEI)，背散射電子像(BEI)，吸收電子像，光學顯微像，X射線面分布像等。兼顧微區成分定量分析和形貌觀察

儀器主要功能及其用途：

l非破壞分析（分析時，被分析樣品不會損壞，可以實現同點重復分析）

l微米尺度的空間分辨分析

l輕元素的定量分析

l元素的面分布分析

l痕量元素的成分分析

l精細結構分析

電子探針X射線顯微分析儀適用于材料(陶瓷，合金，半導體材料等）以及礦物、巖石等固體材料的微區化學組成定性和定量分析，微區化學組成線分析，微區化學組成面分析以及材料、礦物和巖石等的微區形貌觀察、成分分布圖像等，是對試樣微區組織結構，表面形貌觀察及元素定量分析的有效手段。