該設備性能指標：（1）高加速電壓：200KV；（2）點分辨率？0.23nm；（3）能譜儀能量分辨率:優于129eV。（4）能譜分析元素范圍：Be4-U92；利用該設備能夠進行材料的組織形貌、電子衍射、高分辨圖像、微區成分分布研究。

北京電子顯微鏡中心建設了一支由的電子顯微學和材料科學專家為學術帶頭人、由通曉電子顯微分析理論和技術及材料科學等相關理論的優秀研究和技術人員組成且結構合理的人才隊伍，由固定和客座研究人員組成，承擔科學研究、共享服務人才培養、設備管理和維護等具體工作，固定科研和技術人員共10人，其中院士1人，教授2人，副教授2人，高級工程師4人（博士一人，碩士兩人，學士一人），工程師1人（博士）。設備運行采取